CIGS玻璃基板镀膜清洗系统的制作方法

本发明涉及自动化领域，尤其涉及一种cigs玻璃基板的清洗领域，具体是指一种cigs玻璃基板镀膜清洗系统。

背景技术

目前学术界和产业界普遍认为太阳能电池的发展已进入了以薄膜太阳能电池为主第三代，铜铟镓硒薄膜太阳能电池(cigs)是20世纪80年代后期开发出来的新型太阳能电池，它作为多元化合物薄膜电池的重要一员，凭借优越的综合性能成为全球光伏领域的研究热点之一。cigs典型的多层膜结构包括金属栅、减反射膜、窗口层(zno)、过渡层、光吸收层、背电极和玻璃基板。在制备过程中，cigs薄膜一般是在镀有mo的玻璃衬底上生长出来的，在将zno膜层溅射在衬底基板上时，晶粒会通过前置工序在基板上钻出的穿线孔透到玻璃基板的另一面，这些溢出的晶粒膜层会造成电池器件的短路现象，严重影响薄膜电池的性能，甚至导致电池组件报废。

技术实现要素：

本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种可实现上料-清洗-测量-小料过程自动化的cigs玻璃基板镀膜清洗系统。

为了实现上述目的，本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统具有如下构成：

该cigs玻璃基板镀膜清洗系统，其主要特点是，所述的系统包括：

输送定位机构，用于输送并定位所述的cigs玻璃基板；

滴液机构，用于均匀的滴洒清洗液；

布卷机构，清洁布卷置于该布卷机构上，并有该布卷机构带动清洁布卷上的清洁布移动，所述的清洁布卷由所述的清洁布卷叠制成；

顶升清洗机构，用于所述的cigs玻璃基板的清洗；

测量机构，用于检验经过清洗后的所述的cigs玻璃基板是否符合清洗要求；

所述的滴液机构、布卷机构及顶升清洗机构共同构成所述的系统中的清洗模块；

所述的滴液机构位于所述的布卷机构的上方，所述的顶升清洗机构位于所述的输送定位机构的下方，所述的测量机构位于所述的系统的出口处。

较佳地，所述的输送定位机构包括左输送定位单元与右输送定位单元，所述的左输送定位单元与右输送定位单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧，所述的横向中心线的方向与所述的cigs玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。

更佳地，所述的左输送定位单元包括第一输送皮带，所述的右输送定位单元包括第二输送皮带，所述的cigs玻璃基板置于所述的第一输送皮带与第二输送皮带上。

更进一步地，所述的左输送定位单元和右输送定位单元均包括减速传感器、停止传感器以及阻挡气缸；

各个所述的减速传感器、停止传感器以及阻挡气缸分别与对应的第一输送皮带及第二输送皮带相邻；

各个所述的阻挡气缸顶部均安装有一阻挡块。

更进一步地，所述的左输送定位单元和右输送定位单元均包括定位滑台气缸及定位夹紧件，所述的定位滑台气缸与所述的定位夹紧件相连接。

较佳地，所述的滴液机构包括第一滴液单元与第二滴液单元，所述的第一滴液单元与第二滴液单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧，所述的横向中心线的方向与所述的cigs玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。

更佳地，所述的第一滴液单元与第二滴液单元均包括滴液阀、阀体安装件、转台、导向件以及清洗液桶；

所述的清洗液桶用于存储清洗液，且所述的清洗液桶位于所述的系统的底部位置；

所述的滴液阀通过管路与所述的清洗液桶相连接，且该滴液阀还与压缩空气控制阀门相连接，并且该滴液阀还固定于所述的阀体安装件上；

所述的阀体安装件与所述的转台的转动板偏心铰接；

所述的导向件与所述的阀体安装件尾部的槽孔连接。

较佳地，所述的布卷机构包括第一布卷单元、第二布卷单元、以及伸缩气缸，所述的伸缩气缸分别与所述的第一布卷单元及第二布卷单元相连接；所述的第一布卷单元与第二布卷单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧，所述的横向中心线的方向与所述的cigs玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。

更佳地，所述的第一布卷单元包括一左侧安装板，所述的第二布卷单元包括一右侧安装板；所述的布卷机构还包括直线导轨；

所述的伸缩气缸缸体尾部连接在所述右侧安装板、所述伸缩气缸的活塞杆头部浮动连接于左侧安装板；

所述的左侧安装板与右侧安装板均通过斜支撑分别安装于所述的直线导轨上的左右两个滑块上。

更进一步地，所述的第一布卷单元与所述的第二布卷单元均包括内侧限位块，外侧限位块、张力制动器、布卷安装座、固定轴承座、大齿轮、小齿轮、第一柔性联轴器、导向支撑杆、第一旋转轴、第二旋转轴、第二步进电机；

所述的左侧安装板及右侧安装板分别与对应的第一旋转轴及导向支撑杆相连接；

两个所述的第二旋转轴分别以固定在左侧安装板和右侧安装板上的对应的轴承组件为支撑；

所述的第一旋转轴和对应的布卷安装座连接，所述第一旋转轴连接对应的固定轴承座，所述的第一旋转轴另一侧连接对应的张力制动器；

清洁布卷的两端分别对应的套在所述的第一布卷单元中的布卷安装座与所述的第二布卷单元布卷安装座上；

所述的清洁布绕穿过对应的导向支撑杆，且所述的清洁布夹在对应的相互啮合的所述的大齿轮和小齿轮之间，所述的大齿轮压紧于所述小齿上，所述的小齿轮装在所述的第二旋转轴一端；所述的第二旋转轴另一侧通过第一柔性联轴器与所述的第二步进电机相连接；

各个所述的内侧限位块及外侧限位块分别置于所述的清洁布卷中对应的一段的内侧和外侧。

更进一步地，所述的布卷机构还包括一布卷收纳单元，所述的布卷收纳单元位于所述的第一布卷单元及第二布卷单元的下方。

更进一步地，所述的测量机构第一测量机构单元与第二测量机构单元；

所述的第一测量机构单元与第二测量机构单元分别置于所述的左侧安装板与右侧安装板上；

所述的第一测量机构单元与第二测量机构单元均包括测量顶升气缸、第二直线导轨、滑块安装板、测量件安装板、两个测头、第一测量件、第二测量件、兆欧表；

所述的测量顶升气缸和所述滑块安装板浮动连接；

所述的滑块安装板与所述的第二直线导轨相连接；

所述测量件安装板固定在所述滑块安装板上；

所述的第一测量件和所述第二测量件通过弹簧置所述测量件安装板上，所述的第一测量件与第二测量件分别与一所述的测头对应相连；且两个所述的测头分别与所述的兆欧表中的两个输入端口相连接。

更进一步地，所述的测量件安装板为绝缘体，且所述的第一测量件和所述的第二测量件之间无接触。

较佳地，所述的顶升清洗机构包括第一顶升气缸、第一直线轴承、第二直线轴承、第三步进电机、同步带、第一顶升清洗机单元以及第二顶升清洗机单元；

所述的第一直线轴承及第二直线轴承分别置于所述的第一顶升气缸的两侧；

所述的第一顶升清洗机单元与第二顶升清洗机单元均包括偏心轴座、定向杆夹、清洗头、旋转杆以及同步带轮；

所述的第三步进电机通过所述的同步带分别与所述的第一顶升清洗机单元及第二顶升清洗机单元中的两个所述的同步带轮相连接，且两个所述的同步带轮分别置于所述的同步带的两侧；

每一所述的清洗头均依次通过对应的旋转杆、偏心轴座与对应的同步带轮相连接；

每一所述的定向杆夹均通过对应的旋转杆与对应的清洗头相连接。

较佳地，所述的系统置于一框架结构内部，所述的输送定位机构固定于该框架结构上，所述的滴液机构置于所述的框架结构的顶部。

更佳地，所述的框架结构上还设有玻璃，所述的框架结构与玻璃共同形成一容置空间。

该cigs玻璃基板镀膜清洗系统，包括输送定位机构、滴液机构、布卷机构、顶升清洗机构、测量机构，通过上述机构之间的组合连接，实现对cigs玻璃基板的基板玻璃前置工序溢出到背侧的镀膜进行清洗擦除，实现玻璃基板后续的工艺要求，实现上料-清洗-测量-下料过程自动化，基板的输送定位、布卷的供应、清洗液的滴洒、清洗过程以及结果测量均无需人工干预，整个工艺过程节拍快速稳定；清洗完成后测量装置直接贴上cigs玻璃基板表面进行测量，保证结果准确，操作便捷，提高了工作效率，极大的提高cigs良品率，减轻现场工作人员的劳动强度。

附图说明

图1为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统的立体结构示意图。

图2为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统的俯视图。

图3为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统中的清洗模块第一侧结构示意图。

图4为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统中的清洗模块第二侧结构示意图。

附图标记

1输送定位机构

101第一输送皮带

102第二输送皮带

103减速传感器

104停止传感器

105阻挡气缸

106阻挡块

107定位滑台气缸

108定位夹紧件

2滴液机构

201滴液阀

202阀体安装件

203转台

204导向件

205清洗液桶

3布卷机构

301伸缩气缸

302右侧安装板

3021布卷安装座

3022固定轴承座

3023大齿轮

3024小齿轮

3025第一柔性联轴器

3026导向支撑杆

3027a第一旋转轴

3027b第二旋转轴

3028第二步进电机

303左侧安装板

304第一直线导轨

305内侧限位块

306外侧限位块

307清洁布卷

308张力制动器

4顶升清洗机构

401第一顶升气缸

402a第一直线轴承

402b第二直线轴承

403第三步进电机

404同步带

405偏心轴座

406定向杆夹

407清洗头

408同步带轮

409旋转杆

5测量机构

501测量顶升气缸

502第二直线导轨

503滑块安装板

504测量件安装板

505测头

506a第一测量件

506b第二测量件

507兆欧表

6布卷收纳单元

具体实施方式

为了能够更清楚地描述本发明的技术内容，下面结合具体实施例来进行进一步的描述。

该cigs玻璃基板镀膜清洗系统的结构如图1、2所示，图1为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统的立体结构示意图，图2为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统的俯视图。

该cigs玻璃基板镀膜清洗系统，其中，所述的系统包括：

输送定位机构1，用于输送并定位所述的cigs玻璃基板；

滴液机构2，用于均匀的滴洒清洗液；

布卷机构3，清洁布卷置于该布卷机构3上，并有该布卷机构3带动清洁布卷上的清洁布移动，所述的清洁布卷由所述的清洁布卷叠制成；

顶升清洗机构，用于所述的cigs玻璃基板的清洗；

测量机构5，用于检验经过清洗后的所述的cigs玻璃基板是否符合清洗要求；

所述的滴液机构2、布卷机构3及顶升清洗机构共同构成所述的系统中的清洗模块；

所述的滴液机构2位于所述的布卷机构3的上方，所述的顶升清洗机构位于所述的输送定位机构1的下方，所述的测量机构5位于所述的系统的出口处。

其中，所述的清洗模块的结构如图3与图4所示，图3为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统中的清洗模块第一侧结构示意图；图4为一实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统中的清洗模块第二侧结构示意图。

在上述实施例中，所述的输送定位机构1包括左输送定位单元与右输送定位单元，所述的左输送定位单元与右输送定位单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧，所述的横向中心线的方向与所述的cigs玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。

在上述实施例中，所述的左输送定位单元包括第一输送皮带101，所述的右输送定位单元包括第而输送皮带102，所述的cigs玻璃基板置于所述的第一输送皮带101与第而输送皮带102上。

在上述实施例中，所述的左输送定位单元和右输送定位单元均包括减速窗前103、停止传感器104以及阻挡气缸105；

各个所述的减速窗前103、停止传感器104以及阻挡气缸105分别与对应的第一输送皮带101及第而输送皮带102相邻；

各个所述的阻挡气缸105顶部均安装有一阻挡块106。

在上述实施例中，所述的左输送定位单元和右输送定位单元均包括定位滑台气缸107及定位夹紧件108，所述的定位滑台气缸107与所述的定位夹紧件108相连接。

在上述实施例中，所述的滴液机构2包括第一滴液单元与第二滴液单元，所述的第一滴液单元与第二滴液单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧，所述的横向中心线的方向与所述的cigs玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。

在上述实施例中，所述的第一滴液单元与第二滴液单元均包括滴液阀201、阀体安装件202、转台203、导向件204以及清洗液桶205；

所述的清洗液桶205用于存储清洗液，且所述的清洗液桶205位于所述的系统的底部位置；

所述的滴液阀201通过管路与所述的清洗液桶205相连接，且该滴液阀201还与压缩空气控制阀门相连接，并且该滴液阀201还固定于所述的阀体安装件202上；

所述的阀体安装件202与所述的转台203的转动板偏心铰接；

所述的导向件204与所述的阀体安装件202尾部的槽孔连接。

在上述实施例中，所述的布卷机构3包括第一布卷单元、第二布卷单元、以及伸缩气缸301，所述的伸缩气缸301分别与所述的第一布卷单元及第二布卷单元相连接；所述的第一布卷单元与第二布卷单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧，所述的横向中心线的方向与所述的cigs玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。

在上述实施例中，所述的第一布卷单元包括一左侧安装板，所述的第二布卷单元包括一右侧安装板302；所述的布卷机构3还包括直线导轨；

所述的伸缩气缸301缸体尾部连接在所述右侧安装板302、所述伸缩气缸301的活塞杆头部浮动连接于左侧安装板；

所述的左侧安装板与右侧安装板302均通过斜支撑分别安装于所述的直线导轨上的左右两个滑块上。

在上述实施例中，所述的第一布卷单元与所述的第二布卷单元均包括内侧限位块，外侧限位块、张力制动器、布卷安装座3021、固定轴承座3022、大齿轮3023、小齿轮3024、第一柔性联轴器3025、导向支撑杆3026、第一旋转轴3027a、第二旋转轴3027b、第二步进电机；

所述的左侧安装板及右侧安装板302分别与对应的第一旋转轴3027a及导向支撑杆3026相连接；

两个所述的第二旋转轴3027b分别以固定在左侧安装板和右侧安装板302上的对应的轴承组件为支撑；

所述的第一旋转轴3027a和对应的布卷安装座3021连接，所述第一旋转轴3027a连接对应的固定轴承座3022，所述的第一旋转轴3027a另一侧连接对应的张力制动器；

清洁布卷的两端分别对应的套在所述的第一布卷单元中的布卷安装座3021与所述的第二布卷单元布卷安装座3021上；

所述的清洁布绕穿过对应的导向支撑杆3026，且所述的清洁布夹在对应的相互啮合的所述的大齿轮3023和小齿轮3024之间，所述的大齿轮3023压紧于所述小齿上，所述的小齿轮3024装在所述的第二旋转轴3027b一端；所述的第二旋转轴3027b另一侧通过第一柔性联轴器3025与所述的第二步进电机相连接；

各个所述的内侧限位块及外侧限位块分别置于所述的清洁布卷中对应的一段的内侧和外侧。

在上述实施例中，所述的布卷机构3还包括一布卷收纳单元6，所述的布卷收纳单元6位于所述的第一布卷单元及第二布卷单元的下方。

在上述实施例中，所述的测量机构第一测量机构单元与第二测量机构单元；

所述的第一测量机构单元与第二测量机构单元分别置于所述的左侧安装板与右侧安装板302上；

所述的第一测量机构单元与第二测量机构单元均包括测量顶升气缸501、第二直线导轨502、滑块安装板503、测量件安装504、两个测头505、第一测量件506a、第二测量件506b、兆欧表507；

所述的测量顶升气缸501和所述滑块安装板503浮动连接；

所述的滑块安装板503与所述的第二直线导轨502相连接；

所述测量件安装504固定在所述滑块安装板503上；

所述的第一测量件506a和所述第二测量件506b通过弹簧置所述测量件安装504上，所述的第一测量件506a与第二测量件506b分别与一所述的测头505对应相连；且两个所述的测头505分别与所述的兆欧表507中的两个输入端口相连接。

在上述实施例中，所述的测量件安装504为绝缘体，且所述的第一测量件506a和所述的第二测量件506b之间无接触。

在上述实施例中，所述的顶升清洗机构包括第一顶升气缸、第一直线轴承、第二直线轴承、第三步进电机403、同步带404、第一顶升清洗机单元以及第二顶升清洗机单元；

所述的第一直线轴承及第二直线轴承分别置于所述的第一顶升气缸的两侧；

所述的第一顶升清洗机单元与第二顶升清洗机单元均包括偏心轴座、定向杆夹406、清洗头407、旋转杆409以及同步带轮408；

所述的第三步进电机403通过所述的同步带404分别与所述的第一顶升清洗机单元及第二顶升清洗机单元中的两个所述的同步带轮408相连接，且两个所述的同步带轮408分别置于所述的同步带的两侧；

每一所述的清洗头407均依次通过对应的旋转杆409、偏心轴座405与对应的同步带轮408相连接；

每一所述的定向杆夹406均通过对应的旋转杆409与对应的清洗头407相连接。

在上述实施例中，所述的系统置于一框架结构内部，所述的输送定位机构1固定于该框架结构上，所述的滴液机构2置于所述的框架结构的顶部。

在上述实施例中，所述的框架结构上还设有玻璃，所述的框架结构与玻璃共同形成一容置空间。

在上述实施例中的cigs玻璃基板镀膜清洗系统为一种全自动cigs玻璃基板镀膜清洗设备，能清洗擦除溢出到另一面的镀膜，极大的提高cigs良品率，主要包括输送定位机构、滴液机构、布卷机构、顶升清洗机构以及测量机构，实现上料-清洗-测量-下料过程自动化，基板的输送定位、布卷的供应、清洗液的滴洒、清洗过程以及结果测量均无需人工干预，整个工艺过程节拍快速稳定；上述实施例中的cigs玻璃基板镀膜清洗系统使用气缸提供动力来进行基板的定位与清洗，气缸速度和压力均可调；清洗完成后测量装置直接贴上基板表面进行测量，保证结果准确；同一基板可进行二次清洗与测量，保证清洗效果；本发明所使用的布卷及储液桶朝向设备两侧放置，有利于人工更换；本发明使用后的清洗布送入设备底部的收纳区内进行集中处理，环保性好，同时提高了工作人员的可操作性。

下面结合具体实施例，进一步说明上述实施例中本发明的cigs玻璃基板镀膜清洗系统的结构关系及，工作流程。

上述实施例中的cigs玻璃基板镀膜清洗系统主要包括输送定位机构、滴液机构、布卷机构、顶升清洗机构以及测量机构。

所述输送定位机构包括支架(即框架结构)、第一输送皮带、第二输送皮带、减速传感器、停止传感器、阻挡气缸、左定位滑台气缸、右定位滑台气缸、定位夹紧件。玻璃基板置于所述两条输送皮带上往前输送，依次经过所述减速传感器感应减小输送速度，所述停止传感器感应停止往前输送，此时在惯性力的作用下玻璃基板仍旧会往前输送一小段距离，碰到所述的阻挡气缸顶部安装的尼龙阻挡块后停止。所述的定位夹紧件与所述定位滑台气缸相连接，所述左、右定位滑台气缸带动定位夹紧件分别向中间移动，夹紧所述玻璃基板完成定位。

所述输送定位机构1固定在所述发明设备框架上，玻璃基板输送进入本发明设备后，置于所述第一输送皮带101和第二输送皮带102上往前进方向输送，经过所述减速传感器103感应后减小输送速度，到达所述的停止传感器104感应后停止往前输送，此时在惯性力的作用下玻璃基板仍旧会往前输送一小段距离，碰到所述的阻挡气缸105顶部安装的阻挡块106后停止。所述的定位夹紧件108与所述定位滑台气缸107相连接，所述定位滑台气缸107带动定位夹紧件108向玻璃基板方向移动，所述定位机构的左右结构相同，左右共同夹紧所述玻璃基板完成定位功能。

所述滴液机构2固定在所述发明设备顶部框架，包括滴液阀201、阀体安装件202、转台203、导向件204，清洗液桶205，主要将清洗液均与地滴洒在清洗玻璃基板的清洁布上；所述的清洁布安装于所述的布卷机构3上；所述清洗液放置于设备底板的清洗液桶205内，通过管路供给到滴液阀201的腔体内，所述滴液阀201通过压缩空气控制阀门的启闭，所述滴液阀201固定在所述阀体安装件202上，所述阀体安装件202与所述转台203的转动板偏心铰接，所述导向件204与所述阀体安装件202尾部的槽孔连接，对所述阀体安装件202进行导向；以上所述部件构成一个曲柄滑块机构，所述滴液阀201位于机构曲柄的端部将清洗液均匀滴洒于清洁布上；所述的滴液机构2左右结构相同，共同完成功能。

所述布卷机构3包括伸缩气缸301、右侧安装板302、左侧安装板303、直线导轨304、内侧限位块305、外侧限位块306、清洁布卷307、张力制动器308、布卷安装座3021、固定轴承座3022、大齿轮3023、小齿轮3024、第一柔性联轴器3025、导向支撑杆3026、第一旋转轴3027a、第二旋转轴3027b、第二步进电机3028；所述伸缩气缸301缸体尾部连接在所述右侧安装板302、所述伸缩气缸301活塞杆头部浮动连接于左侧安装板303，所述安装板通过斜支撑分别安装于所述直线导轨304的左右两个滑块上；所述布卷机构3左、右两侧安装板上的布卷输送机构结构相同，以右侧为例进行详细讲述，所述右侧安装板302与所述第一旋转轴3027a连接，所述第一旋转轴3027a和所述布卷安装座3021连接，所述清洁布卷307套在所述布卷安装座3021上，所述第一旋转轴3027a的一侧连接所述固定轴承座3022，所述第一旋转轴3027a另一侧连接张力制动器308，所述张力制动器308的制动保持张力可调，可保证所述清洁布卷307不自由转动，从而所述清洁布卷307展开的清洁布始终可保持在所需要的张力状态；所述导向支撑杆3026安装在所述右侧安装板302，所述清洁布通过特定的绕法穿过所述导向支撑杆3026，夹在相互啮合的所述大齿轮3023和小齿轮3024之间(其中，所述的特定的绕法是指清洁布搭在导向支撑杆3026的上表面上，在所述的导向支撑杆3026的支撑作用下穿过导向支撑杆，导向支撑杆主要起到对清洁布的支撑和导向作用)，所述大齿轮3023在扭簧的作用下压紧在所述小齿轮3024上，所述小齿轮3024装在第二旋转轴3027b一端，所述第二旋转轴3027b另一侧通过第一柔性联轴器3025与所述第二步进电机3028连接，所述第二旋转轴3027b以固定在所述安装板302上轴承组件为支撑，所述第二步进电机3028旋转带动所述第二旋转轴3027b转动进而拉动清洗过玻璃基板的布送入设备底部的所述布卷收纳单元6内等待操作人员集中处理，同时未使用的清洁布会从所述清洁布卷307上展开移动至所述滴液机构2的所述滴液阀201下方等待滴液机构滴洒清洗剂；所述伸缩气缸301的伸出和缩回的动作带动所述右侧安装板302和左侧安装板303同时向外侧和向内侧移动，通过安装在铝型材上所述内侧限位块305和外侧限位块306来限定所述清洁布卷307的位置，保证内侧时所述清洁布卷307的中分线位于所述玻璃基板待清洗位置的正下方，外侧时所述清洁布卷307的中分线位于所述滴液机构2的所述滴液阀201出口的正下方，所述布卷机构3左右结构相同，共同完成功能，在上述的清洁布的安放过程中，清洁布与两侧的布卷安装座及两侧的导向支撑杆的之间的关系，大体如下：

从一侧的布卷安装座中引出所述的清洁布的一端后，该端清洁布先挂于该该侧布卷安装座上方的导向支撑杆上，再挂于另一侧的布卷安装座上方的导向支撑杆上，最后卷入所述的另一侧的布卷安装座中，也就是说清洁布分别搭在两个导向支撑杆3026的上表面上，在所述的导向支撑杆3026的支撑作用下，两个导向支撑杆3026主要起到对清洁布的支撑和导向作用。

所述顶升清洗机构4为清洗玻璃基板的动作执行机构，包括第一顶升气缸401、第一直线轴承402a、第二直线轴承402b、第三步进电机403、同步带404、偏心轴座405405、定向杆夹406、清洗头407、同步带轮408、旋转杆409；所述第一顶升气缸401推动整个清洗机构沿竖直方向运动，所述第一直线轴承402a和第二直线轴承402b做为导向，所述第三步进电机403通过所述同步带404拉动两左右对称的所述同步带轮408旋转，同步带轮408上安装所述偏心轴座405，所述清洗头407安装在所述旋转杆409上，所述旋转杆409固定于所述偏心轴座405，所述清洗头407左右各一，分别位于玻璃基板两侧待清洗位置的正下方，上述布卷机构的清洁布往内侧移动至所述玻璃基板待清洗位置下方时，所述顶升气缸401向上伸出，所述清洗头407将清洁布顶起贴在玻璃基板的待清洗位置表面，所述第三步进电机403旋转带动所述清洗头407绕所述偏心轴座405的中心轴转动带动清洁布对玻璃基板指定区域表面进行清洗，在此过程中所述定向杆夹406夹紧安装所述清洗头407的所述旋转杆409，防止所述清洗头407绕自身轴心旋转，从而避免清洗布起皱和歪斜，保证清洗效果良好。

所述测量机构5用于检验清洗的效果是否符合要求；包括测量顶升气缸501、第二直线导轨502、滑块安装板503、测量件安装板504、测头505、第一测量件506a、第二测量件506b、兆欧表507；所述的测量机构5在所述清洗设备上包含两套，分别安装在所述的布卷机构3的所述右侧安装板302和所述左侧安装板303上，以一套为例，所述测量顶升气缸501和所述滑块安装板503浮动连接，所述测量顶升气缸501推动所述滑块安装板503沿所述第二直线导轨502做直线上升和下降，所述测量件安装板504固定在所述滑块安装板503上，所述的第一测量件506a和所述第二测量件506b通过弹簧的支撑力浮动于所述测量件安装板504上，布卷移动到内侧时所述的第一测量件506a和所述第二测量件506b在玻璃基板清洗位置的正下方，所述侧头505包含两个，分别固定于所述的第一测量件506a和所述第二测量件506b，两个所述测头505通过导线分别连接在放置于设备底板上的所述兆欧表507的两个输入端口，所述测量件安装板504为绝缘体，所述第一测量件506a和所述第二测量件506b之间无接触，所述测量顶升气缸501往上方伸出带动所述第一测量件506a和所述第二测量件506b贴上所述玻璃基板清洗后的位置，然后所述兆欧表507测量出数值并与预设的数据进行比较从而判定清洗结果是否合格；测量结果合格，所述定位滑台气缸107的活塞杆伸出，松开所述玻璃基板，所述第一输送皮带101和所述第二输送皮带102运转将所述玻璃基板输送离开本发明设备至下一工位，同时后续第二玻璃基板开始进入本发明设备；若测量结果不合格，则所述玻璃基板保持定位夹紧状态不动，本发明设备第二次执行清洗过程；对于二次清洗后的所述玻璃基板若测量结果仍不合格，则本发明设备自动停止自动化运行并告警。

采用该cigs玻璃基板镀膜清洗系统，包括输送定位机构、滴液机构、布卷机构、顶升清洗机构、测量机构，通过上述机构之间的组合连接，实现对cigs玻璃基板的基板玻璃前置工序溢出到背侧的镀膜进行清洗擦除，实现玻璃基板后续的工艺要求，实现上料-清洗-测量-下料过程自动化，基板的输送定位、布卷的供应、清洗液的滴洒、清洗过程以及结果测量均无需人工干预，整个工艺过程节拍快速稳定；清洗完成后测量装置直接贴上cigs玻璃基板表面进行测量，保证结果准确，操作便捷，提高了工作效率，极大的提高cigs良品率，减轻现场工作人员的劳动强度。

在此说明书中，本发明已参照其特定的实施例作了描述。但是，很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本发明的精神和范围。因此，说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。