技术编号:16153974
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片运输设置领域,更具体的说涉及一种花篮快速旋转装置。背景技术随着硅片生产和加工领域中自动化水平的不断提高,智能的运输设备不断被添加到硅片生产流程的各个工序中。在硅片运输的过程中,插设有硅片的花篮通过AGV小车在不同的加工工序中运送。参照图1,花篮9是由上顶板91、下底板92和垂直设置在上顶板91和下底板92之间的4根固定柱93组成,每一根固定柱93上均设置有若干供硅片插设的凸板931,硅片固定在两相邻的凸板931之间。花篮9还包括设置在上顶板91和下底板92之间用于限制硅片位置的...
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