技术编号：16197119
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅冷氢化工艺中的含硅高沸物的回收工艺方法及冷氢化工艺。背景技术多晶硅生产不管采用改良西门子法还是采用硅烷热分解法，均需要将产生的大量四氯化硅进行循环利用。将四氯化硅、硅粉、氢气发生如下的冷氢化反应：3SiCl4+2H2+Si→4SiHCl3，生成三氯氢硅可以使多晶硅的生产形成闭环回路，从而大幅降低多晶硅的生产成本。但在实际冷氢化过程中，除了会有三氯氢硅生成外，还会有Si2Cl6、Si2HCl5、Si2H2Cl4、Si3Cl8、Si3Cl8O等一些列的...
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