技术编号:16225788
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池制备技术领域,具体涉及一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器。背景技术利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一,在太阳能电池生产中,大量使用平板式PECVD在电池片表面沉积一层致密的氮化硅膜,它具有减反射和钝化作用、屏蔽金属离子等作用,可以有效提升电池片转换效率;平板式PECVD具有反应温度低,沉积速率快,成膜质量好等优点,镀膜过程中,在反应腔体内分布着六根由专用卡扣盖适配器连接石英管的微波发生器,通过铜天线和铜导线可将微波能量导入腔体中,分解SiH4中的S...
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