一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器的制作方法

本实用新型属于太阳能电池制备
技术领域：
，具体涉及一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器。
背景技术：
：利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一，在太阳能电池生产中，大量使用平板式PECVD在电池片表面沉积一层致密的氮化硅膜，它具有减反射和钝化作用、屏蔽金属离子等作用，可以有效提升电池片转换效率；平板式PECVD具有反应温度低，沉积速率快，成膜质量好等优点，镀膜过程中，在反应腔体内分布着六根由专用卡扣盖适配器连接石英管的微波发生器，通过铜天线和铜导线可将微波能量导入腔体中，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅片表面；目前市场上常用的连接石英管的卡扣盖适配器长度为8.2cm，但由于8.2cm长度的卡扣盖适配器过长，会遮挡部分石英管，导致石墨框两侧的电池片膜厚偏低，出现色差片；为解决上述问题，开发一种具有保护石英管、提高产品合格率的平板式PECVD专用卡扣盖适配器很有必要。技术实现要素：本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种保护石英管、提高产品合格率的平板式PECVD专用卡扣盖适配器。本实用新型的目的是这样实现的：一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，所述卡扣盖适配器的左侧连接设置有石英管，所述卡扣盖适配器上设置有微波发生器，所述卡扣盖适配器为管状，所述卡扣盖适配器包括前部、中部和后部三部分，所述前部的外部直径为36mm，其长度为9.5mm，所述中部的外部直径为40mm，其长度为9.5mm，所述后部的外部直径为36mm，其长度为2.5mm。进一步地，所述卡扣盖适配器的材料为金属铝。进一步地，所述卡扣盖适配器的内部直径为30mm。进一步地，所述卡扣盖适配器上设置有R0.2的倒圆角。进一步地，所述卡扣盖适配器的内部直径与石英管的外部直径相等。由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：（1）通过设置的卡扣盖适配器内部直径与石英管的外部直径相等，使卡扣盖适配器套在石英管外侧，起到固定和保护石英管的作用；（2）通过设置的前部的外部直径，使之与微波发生器内径匹配，将微波发生器套在卡扣盖适配器的前部的外部，通过中段对微波发生器进行固定限位，通过对卡扣盖适配器各部分进行限定，使其改善了石墨框两侧电池片膜厚偏低的问题，减少返工率，提高了产品合格率。附图说明图1是本实用新型的主视图。图2是本实用新型的左视剖面图。图中：1、卡扣盖适配器11、前部12、中部13、后部。具体实施方式下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步具体的说明。实施例1：如图1、图2所示，一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，所述卡扣盖适配器的材料为金属铝，所述卡扣盖适配器的左侧连接设置有石英管，所述卡扣盖适配器上设置有微波发生器，所述卡扣盖适配器为管状，所述卡扣盖适配器包括前部、中部和后部三部分，所述前部的外部直径为36mm，其长度为9.5mm，所述中部的外部直径为40mm，其长度为9.5mm，所述后部的外部直径为36mm，其长度为2.5mm，所述卡扣盖适配器的内部直径为30mm。所述卡扣盖适配器上设置有R0.2的倒圆角。所述卡扣盖适配器的内部直径与石英管的外部直径相等。本实用新型在使用时，将卡扣盖适配器1连接着石英管，使卡扣盖适配器1对石英管进行固定和保护，还不会遮挡住石英管，改善了石墨框两侧电池片膜厚偏低问题，减少了发红片，降低了返工率。为验证新型卡扣盖适配器1与常规卡扣盖适配器的差异，进行对比实验，新型卡扣盖适配器1在石墨框两侧的电池片膜厚明显增高，单框膜厚均匀性明显更好。具体实验数据如下：膜厚1（nm)膜厚2（nm)膜厚3（nm)膜厚4（nm)膜厚5（nm)膜厚6（nm)单框膜厚平均值(nm)单框膜厚均匀性新型77.3680.9379.6380.1379.0177.5679.002.26%常规72.9479.4981.277.6276.2171.6276.516.27%以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解，依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，而未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。当前第1页1 2 3