技术编号：16226763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于清洗技术领域，尤其涉及一种用于等离子清洗效果监测自动化功能开发装置。背景技术等离子清洗技术，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，与常见的固液气状态不同。对气体施加足够的能量使之成为具有高位能动能的气体团，这便是中性，高能量，离子化的等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。随着高科技产业...
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