一种用于等离子清洗效果监测自动化功能开发装置的制作方法

本实用新型属于清洗技术领域，尤其涉及一种用于等离子清洗效果监测自动化功能开发装置。

背景技术：

等离子清洗技术，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，与常见的固液气状态不同。对气体施加足够的能量使之成为具有高位能动能的气体团，这便是中性，高能量，离子化的等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。随着高科技产业的快速发展，其应用越来越广，目前已在众多高科技领域中，居于关键技术的地位，等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响首推电子资讯工业，尤其是半导体业与光电工业。

在申请号为CN201410050016.3的实用新型专利中公开了一种利用等离子清洗机洗液晶显示屏基板工艺，该工艺能够让液晶显示屏基板表面得到一致性的清洁度，对表面脏污与氧化层进行有效处理，可以大大降低产品的不良率，从而最大限度地控制产品因返修而产生额外成本。现有技术在等离子清洗后需手动将基板移动到指定位置测量不同位置的清洁效果，如此反复移动，手动移动基板易导致基板破损或者污染。现有技术清洁后数据也无法上传系统存档，导致数据追踪麻烦，不能简便及时跟踪设备清洁效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述人为失误导致基板破损或者污染以及数据无法存档追溯的问题，从而提供了一种用于等离子清洗效果监测自动化功能开发装置。

所述用于等离子清洗效果监测自动化功能开发装置，包括包括基板，水滴测试仪，夹具，水滴测试仪控制电脑，电算系统，所述基板固定在所述夹具上，所述基板上方设置水滴测试仪，所述水滴测试仪与水滴测试仪控制电脑相连，所述水滴测试仪控制电脑与电算系统相连。

优选的，所述基板水平固定在夹具上。

优选的，所述夹具包括夹持部和固定部，夹持部夹持基板。

优选的，所述夹具的夹持部与固定部之间设有连接部件，连接部件使该固定部与该夹持部相连。

优选的，所述夹具的固定部下方设有滚轮。

优选的，所述夹具的固定部下方的滚轮设在水平基座导轨上。

优选的，所述电算系统是台式服务器。

本实用新型的实施例具有以下有益效果：夹具根据需要自动移动，带动基板移动到需要测试的位置，无需人工手动移动，减少因人为失误导致的基板破损发生，测量数据及时保存上传电算系统，数据能够对应测试的批次编号及测试时间点，能够跟踪及分析数据，当数据超过设定范围时，电算系统会及时提醒并在系统里锁住数据异常的批次编号，实现了数据的实时监测及报警功能，能够有效预防品质事故的发生。

附图说明

图1为基板测试装置。

图中：1-水滴测试仪；2-基板；A，B，C-测试点。

图2为清洗效果监测自动化功能开发装置开发前后设备对比图。

图中：1,3-清洗效果监测自动化功能开发装置开发前；

1,3,4-清洗效果监测自动化功能开发装置；

1-水滴测试仪；3-水滴测试仪控制电脑；4-电算系统。

具体实施方式

实施例一,

参见图1和2所示，包括下列步骤：将需被测的基板2固定在夹具上，控制夹具移动，被测的基板2随之移动到测试位置A，由水滴测试仪控制电脑3控制水滴测试仪1测试A位置清洁效果，随后分别测量B和C位置的清洁效果。参见图2所示，电算系统4自动保存测量结果并实时追踪。当数据超过设定范围时，电算系统会及时提醒并在系统里锁住数据异常的系统编号，系统开发后实现了数据的实时监测及报警功能，能够有效预防品质事故的发生。

参见图2所示，所述用于等离子清洗效果监测自动化功能开发装置开发前，系统仅由水滴测试仪1和水滴测试仪控制电脑3组成，开发后，系统由水滴测试仪1和水滴测试仪控制电脑3以及电算系统4组成。水滴测试仪控制电脑控制水滴测试仪的测试，水滴测试仪控制电脑与电算系统相连接，测试数据及时上传并保存在电算系统中。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明而非限制本发明的技术方案，尽管参照上述实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明进行修改或者等同替换，而不脱离本发明的精神和范围，而所附权利要求意在涵盖落入本发明精神和范围中的这些修改或者等同替换。