具有高CMOS集成的热电式红外探测器的制作方法技术资料下载

技术编号:16238552

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本发明涉及一种具有高CMOS集成的热电式红外探测器器件及其形成方法。背景技术基于日益增长的诸多应用需求,对非制冷红外探测器的需求也不断增长。这些应用,仅举几例,包括空调系统,手机,自动驾驶汽车,物联网(IoT),消防和交通安全。此外,预计不久的将来还会有更多的应用。常规非制冷红外探测器使用微测辐射热计予以实施。然而,微测辐射热计需要机械部件进行校准。例如,微测辐射热计需要机械快门进行偏移校正。微测辐射热计所需的机械部件增加了制造的复杂性,这种复杂性使得成本增加。另外,对微测辐射热计的机械部件的需...
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