技术编号:16238711
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示制造技术领域,特别是涉及一种传片基板保护方法。背景技术随着液晶显示面板的品质提升,TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)的阵列分布的精准性直接影响液晶显示面板的显示画质,其中TFT的刻蚀采用等离子刻蚀机来完成。而在恢复、清洁完毕及新工艺导入前,需要用传片基板确认设备的稳定性,在传片的过程中由于要开启RF(Radio Frequency)射频电源,射频电源产生的等离子轰击传片基板的表面,使得传片基板在RF能量的作用下传片5次左右,边缘容易出现发白的现象,传...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。