技术编号:16332381
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶硅太阳能电池领域,具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置。背景技术太阳能电池刻蚀抛光工艺是太阳能高效电池制造工艺中至关重要的一步,对成品电池片的电性能以及EL良率有着重大的影响,刻蚀后硅片背面反射率的均匀性决定了背钝化镀膜的均匀性,镀膜的均匀性决定了激光开孔率及大小的均匀性。因此刻蚀在整个晶硅太阳能电池生产过程中起着举足轻重的作用。链式多晶酸刻蚀是太阳能电池制造工艺中的一种常见方式,现有链式多晶酸刻蚀设备主要采用5-8-10道同时运行,湿法酸刻蚀是通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的P...
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