一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置的制作方法

本发明涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置。

背景技术：

太阳能电池刻蚀抛光工艺是太阳能高效电池制造工艺中至关重要的一步，对成品电池片的电性能以及el良率有着重大的影响，刻蚀后硅片背面反射率的均匀性决定了背钝化镀膜的均匀性，镀膜的均匀性决定了激光开孔率及大小的均匀性。因此刻蚀在整个晶硅太阳能电池生产过程中起着举足轻重的作用。

链式多晶酸刻蚀是太阳能电池制造工艺中的一种常见方式，现有链式多晶酸刻蚀设备主要采用5-8-10道同时运行，湿法酸刻蚀是通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的pn结，以达到正面和背面绝缘的目的，同时去除正面的磷硅玻璃层。硅片与酸的不同程度反应减重也会有波动，从而造成刻蚀不均匀，最终影响良品率。减重的大小成为影响产品良品率的一个关键因素，因而现有晶硅太阳能电池生产产线上需要专门设置称重人员及时称量减重情况，以便能够准确把握各道实时减重情况，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率。虽然这种方式可以一定程度上改善刻蚀不稳定所造成的差异，但是由于现有称重方式为人工称量，这种操作方式不但费时费力，劳动强度大，工作效率低，而且人工称重极易因长时间工作造成视觉疲乏，从而产生漏称，更重要的是，人工称重方式由于不同的称重人员之间存在差异，导致称重结果统一性较差，影响产品良品率。

技术实现要素：

本发明的目的是解决上述现有技术中测试条件的不足，提供一种省时省力、工作效率高、称重结果稳定的链式多晶酸刻蚀自动称重装置。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：

一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，用于对刻蚀槽内的硅片刻蚀减重进行称量，所述刻蚀槽设有进料端和出料端，其特征在于，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数。

优选的，本发明中所述第一称重器和第二称重器均为电子天平。

优选的，本发明中所述读数机构为具有数据处理软件的通用计算机。

优选的，本发明中所述读数机构为专用数据处理器。

优选的，本发明中所述进料端设有上料机械手，所述出料端设有下料机械手。

优选的，本发明中所述上料机械手上设有上料吸盘，所述下料机械手上设有下料吸盘。

本发明的有益效果是，由于本发明链式多晶酸刻蚀自动称重装置包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数，因而利用本发明可以方便快捷的获取刻蚀槽内硅片的实时刻蚀减重，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率。而且本发明利用读数机构自动获取硅片的刻蚀减重，无需专门设置作业人员人工称量，自动化程度高，省时省力，工作效率高，称重结果精准，产品良品率大大提高，具有广阔的应用前景。

附图说明

图1为本发明链式多晶酸刻蚀自动称重装置的结构示意框图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

图1示出了本发明链式多晶酸刻蚀自动称重装置的一种结构示意框图。如图1所示，本实施例所述的链式多晶酸刻蚀自动称重装置，用于对刻蚀槽内10的硅片20刻蚀减重进行称量，所述刻蚀槽设有进料端11和出料端12，图1中箭头代表刻蚀槽内硅片运行方向，所述自动称重装置包括称重机构和读数机构40，其中，如图1所示，所述称重机构包括第一称重器31和第二称重器32，所述第一称重器31设置在所述进料端11，所述第二称重器32设置在所述出料端12，所述第一称重器31和所述第二称重器32均连接所述读数机构40，所述读数机构40分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数。

作为优选实施方式，本实施例中所述第一称重器31和第二称重器32均为电子天平，结构简单，成本低廉，称重方便且精准。

作为优选实施方式，本实施例中所述读数机构40为具有数据处理软件的通用计算机。所述第一称重器31和所述第二称重器32分别称量硅片在刻蚀前和刻蚀后的重量，并分别将所获取的重量传送至计算机，计算机利用内部数据处理软件自动计算出第二称重器数值与第一称重器数值之差，即为所述硅片的刻蚀减重数，利用计算机进行数据处理，方便快捷且准确率高。

作为优选实施方式，本实施例中所述读数机构为专用数据处理器。

作为优选实施方式，如图1所示，本实施例中所述进料端11设有上料机械手110，所述出料端12设有下料机械手120。利用上料机械手110和下料机械手120可以方便快捷的将要称取的硅片放置在第一称重器和第二称重器，无需人工手动参与，自动化程度高，操作便利。

作为优选实施方式，如图1所示，本实施例中所述上料机械手110上设有上料吸盘111，所述下料机械手120上设有下料吸盘121，利用上料吸盘111和下料吸盘121可以方便稳定的将要称取的硅片抓取，提高作业稳定性和安全性。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

技术特征：

技术总结
本发明涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数，利用本发明可以方便快捷的获取刻蚀槽内硅片的实时刻蚀减重，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率，无需专门设置作业人员人工称量，自动化程度高，结果精准，省时省力，工作效率高，具有广阔的应用前景。

技术研发人员：李学峰
受保护的技术使用者：苏州润阳光伏科技有限公司
技术研发日：2018.09.27
技术公布日：2018.12.18