半导体芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:16525994

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本发明涉及半导体芯片。背景技术关于将半导体芯片安装到基板的方法之一,有使用了凸块的倒装芯片技术。在倒装芯片技术中,为了防止半导体芯片与基板的连接不良,此外,为了缓解施加于各个凸块的应力而提高连接的可靠性,要求将各个凸块的高度对齐。例如,假若凸块的高度不同,则在将半导体芯片安装到基板时,高度低的凸块不与基板侧的焊盘接触,有可能在半导体芯片与基板的电连接产生不良情况。关于这一点,例如,在专利文献1中公开了如下结构,即,根据形成在半导体基板上的中间层的厚度,按每个凸块调整焊料的涂敷量而改变凸块的体积。...
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