技术编号:16568564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体设备领域,尤其涉及一种扩膜、测试、分选一体机。背景技术在LED制作过程中,芯片经过划裂制程后会进行扩膜、测试、分选。进行每部作业之前需要对芯粒进行倒膜,即更换新的蓝膜,以便能更好的承载芯片。现有作业中多次倒膜过程存在如下缺陷:1、因扩膜单元及蓝膜特性,存在扩膜歪、扩膜破等异常。 2、因蓝膜有收缩的特性,放置时间过长会收缩,影响作业。3、蓝膜为一次性使用物料,为定期消耗品,不可回收利用,成本较高。4、分选易产生顶针残胶、背缺等异常。发明内容为解决上述技术问题,一种一扩膜、一测试...
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