一种扩膜、测试、分选一体机的制作方法

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种扩膜、测试、分选一体机。

背景技术：

在LED制作过程中，芯片经过划裂制程后会进行扩膜、测试、分选。进行每部作业之前需要对芯粒进行倒膜，即更换新的蓝膜，以便能更好的承载芯片。

现有作业中多次倒膜过程存在如下缺陷：1、因扩膜单元及蓝膜特性，存在扩膜歪、扩膜破等异常。 2、因蓝膜有收缩的特性，放置时间过长会收缩，影响作业。3、蓝膜为一次性使用物料，为定期消耗品，不可回收利用，成本较高。4、分选易产生顶针残胶、背缺等异常。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，一种一扩膜、一测试、一分选一体机，至少包括一扩膜单元、测试单元、分选单元，其特征在于：所述扩膜单元包括一环形载台，一可升降的真空平台，一真空控制机构，以及一芯粒承载机构，所述真空平台位于环状载台的中心，所述真空控制机构连接于所述真空平台，所述芯片承载机构位于所述环形载台上，所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜，以及固定该弹性透气性膜的固定环。

优选的，所述测试单元、分选单元分别位于所述扩膜单元的两侧。

优选的，所述扩膜单元、测试单元、分选单元顺次排布。

优选的，所述环形载台上还设置有固定芯粒承载机构的固定构件。

优选的，所述真空平台还包括一驱动机构，所述驱动机构驱动真空平台的升降。

优选的，所述真空控制机构还包括一真空压力表和一报警装置。

优选的，所述固定构件包括电磁铁和/或者螺栓。

优选的，所述扩膜单元构设置于一滑动轨道上。

优选的，所述滑动轨道为“十字形”轨道或者“直线形”轨道。

优选的，所述透气性膜为TPU膜。

本实用新型提供的一种扩膜、测试、分选一体机，可取消使用蓝膜，采用可重复使用的弹性透气性膜承载芯粒，降低成本。其通过一种TPU弹性透气性膜结合铁环承载片源，利用真空平台上升顶起TPU弹性膜对片源进行微扩，从而进行芯粒的测试及分选，减少倒膜作业。

附图说明

图1 为本实用新型之扩膜、测试、分选一体机主视图

图2 为本实用新型之扩膜单元剖视图。

图3 为本实用新型之环形载台、真空平台、透气性膜和固定环之立体图。

附图标注：100：扩膜单元；110：环形载台；120：真空平台；130：真空控制机构；131：真空压力表；132：报警装置；140：驱动机构；150：芯粒承载机构；151：透气性膜；152：固定环；160：固定构件；161：螺栓；162：电磁铁；170：滑动轨道；200：测试单元；300：分选单元。

具体实施方式

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

参看附图1，本实施例提供一种扩膜、测试、分选一体机，至少包括一扩膜单元100、一测试单元200、一分选单元300，扩膜单元100包括一环形载台110，一可升降的真空平台120，一真空控制机构130，以及一芯粒承载机构150，真空平台120位于环形载台110的中心，真空控制机构130连接于该真空平台120，芯片承载机构150位于该环形载台110上，芯片承载机构150包括一承载芯粒400的弹性透气性膜151，以及固定该弹性透气性膜151的固定环152。

该弹性透气性膜151为TPU膜，是一种高分子聚合物，具有高的透气性、超高的耐磨性、高抗拉力和回弹力，保证了真空平台120通过该透气性膜151对芯粒400的真空吸附力，同时，该弹性透气性膜151的高抗拉力和回弹力保证了其重复实用性。

环形载台110上还设置有固定芯粒400承载机构的固定构件160，固定构件160的种类与固定环152的种类相匹配，可以为电磁铁162和/或者螺栓161。本实施例优选固定环152为铁环，固定构件160为电磁铁162和螺栓161，电磁铁162均匀设置于环形载台110的上部，用于吸附固定环152，然后通过螺栓161将弹性透气性膜151、固定环152固定于环形载台110上。

可升降的真空平台120的直径小于透气性膜151的直径，以便于承载、扩膜。真空控制机构还包括一真空压力表131和一报警装置132，真空压力表131用于实时监控真空控制机构130的真空压力，当真空度低于设定值时，报警装置132将发出警报，真空控制机构130和真空平台120停止运行。

为便于扩膜后的芯粒400进行测试、分选、，扩膜单元100设置于一滑动轨道170上，该滑动轨道170为“直线形”轨道或者“十字形”轨道，扩膜单元100、测试单元200、分选单元300可按照具体操作的便利性顺次排布或者呈三角分布。

扩膜后的芯粒400经测试单元200测试后进行分选作业，其中，测试单元200为AOI测试机，分选单元300包括分选机，分选机中芯粒400抓取机构为吸笔，同时为了保护透气性膜151的完整性，吸笔在抓取芯粒400时可以不采用顶针将芯粒400顶起，而是通过真空控制机构控制真空平台120的真空度，减小透气性膜151对芯粒400的真空吸引力，当该真空吸引力小于吸笔对芯粒400的吸引力时，芯粒400则被抓取。当然为了防止其余为被分选的芯粒400的位置发生移动，真空平台120产生的真空吸引力不能为零。

本实用新型提供的一种扩膜、测试、分选一体机，主要用于LED光电行业，其将裂片后的芯粒400实现扩膜、测试、分选一体化，减少倒膜作业和蓝膜的使用，以便节省人力、降低成本、提高工作效率。

其具体工作过程为，首先，调整真空平台120的上表面与载体上表面在同一水平面，将弹性透气性膜151平铺在真空平台120上，开启真空控制机构130，对真空平台120抽真空；其次，固定环152放置在弹性透气性膜151上，并通过固定构件将弹性透气性膜151、固定环152固定在环形载台110上；然后，将裂片后的芯粒400转移至弹性透气性膜151上；在驱动机构140的驱动下真空平台120上升至预定高度，对芯粒进行扩膜；接着，环形载台110与真空平台120同时在滑动轨道170上移动，依次进行芯粒400测试作业和分选作业。弹性透气性膜151上的芯粒400全部分选结束后，关闭真空控制机构130，同时驱动真空平台120上表面下降只环形载台110内，以便弹性透气性膜151能恢复原状。

本实施例以一个扩膜单元100、一个测试单元200、一个分选单元300为例，但本实用新型提供的一体机并不局限于此，根据实际量产的需要，可以合理的设定扩膜单元100、测试单元200与分选单元300的个数，以便提高工作效率。

应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。