1.一种扩膜、测试、分选一体机,至少包括一扩膜单元、一测试单元、一分选单元,其特征在于:所述扩膜单元包括一环形载台,一可升降的真空平台,一真空控制机构以及一芯粒承载机构,所述真空平台位于环状载台的中心,所述真空控制机构连接于所述真空平台,所述芯粒承载机构位于所述环形载台上,所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜,以及固定该弹性透气性膜的固定环。
2.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述测试单元、分选单元分别位于所述扩膜单元的两侧。
3.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述扩膜单元、测试单元、分选单元顺次排布。
4.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述环形载台上还设置有固定所述芯粒承载机构的固定构件。
5.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述真空平台还包括一驱动机构,所述驱动机构驱动真空平台的升降。
6.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述真空控制机构还包括一真空压力表和一报警装置。
7.根据权利要求4所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述固定构件包括电磁铁和/或者螺栓。
8.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述扩膜单元构设置于一滑动轨道上。
9.根据权利要求8所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述滑动轨道为“十字形”轨道或者“直线形”轨道。
10.根据权利要求1所述的一种扩膜、测试、分选一体机,其特征在于:所述透气性膜为TPU膜。