技术总结
本实用新型属于半导体设备领域，其提供的一种扩膜、测试、分选一体机，至少包括一扩膜单元、一测试单元、一分选单元，其特征在于：所述扩膜单元包括一环形载台，一可升降的真空平台，一真空控制机构，以及一芯粒承载机构，所述真空平台位于环状载台的中心，所述真空控制机构连接于所述真空平台，所述芯片承载机构位于所述环形载台上，所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜，以及固定该弹性透气性膜的固定环。
技术研发人员：张虎;林桂绮;邱智中;蔡吉明
受保护的技术使用者：安徽三安光电有限公司
技术研发日：2018.06.29
技术公布日：2019.01.11