硅片制绒槽体装置以及电池制造设备的制作方法

本实用新型涉及电池制造技术领域，尤其是涉及一种硅片制绒槽体装置以及电池制造设备。

背景技术：

目前产业化用于制作硅太阳能电池的硅片基本上是单晶硅和多晶硅两种。硅片为制作成电池的第一道工序，即绒面制备。绒面的均匀性、反射率等等都直接影响到转换效率。目前单晶硅制备绒面的方法：槽式设备，采用氢氧化钠、氢氧化钾溶液等等；多晶硅制备绒面的方法：1.链式设备，采用硝酸/氢氟酸混合溶液；2.槽式设备，采用硝酸/氢氟酸溶液3.槽式设备，采用MCCE(Metal Catalyzed Chemical Etching，湿法蚀刻的金属催化化学腐蚀法)制绒等等很多方法。

对于绒面制备而言，相关技术中采用的方法是通过外加循环管路，利用电机(循环泵)将槽体内静止的溶液在一定时间内流动循环，从而保证其均匀性。例如：结合图1所示，药液经循环泵5作用，由外槽2的出液口经过循环管4，再由内槽1的进液口进入槽内。但是，采用这种循环管路设计导致：1.外槽+内槽，两个槽，药液需要增加20L左右，槽体的材料增加，成本增加；2.循环管路太长，全长430cm，在固定时间内药液循环次数较少，导致药液均匀性较差；3.药液进槽方式会导致槽内液体局部压力过大，导致药液波动较大产生较多气泡，硅片进槽后会附着在硅片表面不易脱附而造成制绒绒面亮点。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供硅片制绒槽体装置以及电池制造设备，以解决现有技术中存在的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，本实用新型提供一种硅片制绒槽体装置，其包括：循环泵、循环管路和槽体；所述槽体的侧面设置有槽壁管，所述槽壁管上设置进液口，所述槽体的底面设置有出液口；所述循环泵的第一端通过循环管路与所述槽壁管连通，所述循环泵的第二端与所述槽体的出液口连通。

作为一种进一步的技术方案，所述槽体的形状为立方体形状，所述槽体的四个侧面均设置有一槽壁管。

作为一种进一步的技术方案，所述循环管路包括交叉连接的第一管路和第二管路，所述第一管路的每端分别连接于所述槽体对应一侧的槽壁管，所述第二管路的每端分别连接于所述槽体对应一侧的槽壁管，所述循环泵的第一端连接于所述第一管路和第二管路之间的交点位置。

作为一种进一步的技术方案，所述第一管路和第二管路之间的交点位置正对所述槽体的底面中心点。

作为一种进一步的技术方案，所述槽壁管与所述槽体一体成型，所述槽壁管上开设有一连接口和若干个进液口；所述连接口与所述循环管路相连，所述进液口与所述槽体的内部相连。

作为一种进一步的技术方案，所述槽壁管于所述槽体的侧面上呈水平横向延伸，且四个所述槽壁均位于同一水平面上。

作为一种进一步的技术方案，所述循环管路的表面设置有冷却装置。

作为一种进一步的技术方案，所述槽体的内部设置有振动装置。

作为一种进一步的技术方案，所述槽体的内部设置有加热装置。

第二方面，本实用新型还提供一种电池制造设备，其包括所述的硅片制绒槽体装置。该硅片制绒槽体装置包括：循环泵、循环管路和槽体；所述槽体的侧面设置有槽壁管，所述槽壁管上设置进液口，所述槽体的底面设置有出液口；所述循环泵的第一端通过循环管路与所述槽壁管连通，所述循环泵的第二端与所述槽体的出液口连通。

采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供一种硅片制绒槽体装置，节省槽体材料，同时节省溶液量，降低成本，由原来的一根管道直接由内槽底部冲入槽内的循环方式更改为由四边槽壁流入槽内，这样会大大提升药液循环的平稳性，并且由槽壁流入槽内的方式会大大降低由于循环导致槽内产生的气泡在固定时间内不容易消散而导致的绒面质量问题，而且循环管路长度缩短一半，大大提升固定时间内溶液循环的次数，保证药液更好的均匀度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有绒面制备的槽体结构的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的硅片制绒槽体装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的冷却装置的装配示意图；

图4为本实用新型实施例提供的加热装置和振动装置装配的侧视图；

图5为本实用新型实施例提供的加热装置和振动装置装配的俯视图。

图标：1-内槽；2-外槽；4-循环管；5-循环泵；6-循环管路；7-槽壁管；8-槽体；9-冷却装置；10-固定装置；11-振动装置；12-加热装置。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

实施例一

结合图2至图5所示，本实施例提供一种硅片制绒槽体装置，其包括：循环泵5、循环管路6和槽体8；所述槽体8的侧面设置有槽壁管7，所述槽壁管7上设置进液口，所述槽体8的底面设置有出液口；所述循环泵5的第一端通过循环管路6与所述槽壁管7连通，所述循环泵5的第二端与所述槽体8的出液口连通。该硅片制绒槽体装置节省了槽体8材料，同时节省溶液量，降低成本，由原来的一根管道直接由内槽底部冲入槽内的循环方式更改为由四边槽壁流入槽内，这样会大大提升药液循环的平稳性，并且由槽壁流入槽内的方式会大大降低由于循环导致槽内产生的气泡在固定时间内不容易消散而导致的绒面质量问题，而且循环管路6长度缩短一半，大大提升固定时间内溶液循环的次数，保证药液更好的均匀度。

本实施例中，作为一种进一步的技术方案，所述槽体8的形状为立方体形状，所述槽体8的四个侧面均设置有一槽壁管7。当然，除此之外，该槽体8的也可以为其他形状。而且，可以理解的是，本实施例中，其优选的方式是在所述槽体8的四个侧面均设置有一槽壁管7，当然，至少其中一个侧面设置有槽壁管7也属于本实施例的保护范围。

此外，对于槽壁管7的具体位置可根据实际需要灵活调整，例如：位于所述槽体8的侧面的二分之一高度的位置等等。

对应的，本实施例中，所述循环管路6为十字管路，这样可以使循环管路6长度缩短一半。

作为一种进一步的技术方案，所述循环管路6包括交叉连接的第一管路和第二管路(可以理解的是，第一管路和第二管路在交点位置相互连通)，所述第一管路的每端分别连接于所述槽体8对应一侧的槽壁管7，所述第二管路的每端分别连接于所述槽体8对应一侧的槽壁管7，所述循环泵5的第一端连接于所述第一管路和第二管路之间的交点位置。

本实施例中，作为一种进一步的技术方案，所述第一管路和第二管路之间的交点位置正对所述槽体8的底面中心点。该结构整体更加稳定，提升药液循环的平稳性。

当然，对于槽壁管7而言，其可以与槽体8一体成型，也可以为外接的部件，当然其为外接的部件是最好与槽体8的材质保持一致。

优选的，所述槽壁管7与所述槽体8一体成型(槽壁管7为相对于槽体8侧面的腔体或者通道结构)，所述槽壁管7上开设有一连接口和若干个进液口；所述连接口与所述循环管路6相连，所述进液口与所述槽体8的内部相连。

本实施例中，作为一种进一步的技术方案，所述槽壁管7于所述槽体8的侧面上呈水平横向延伸，且四个所述槽壁均位于同一水平面上，提升药液循环的平稳性。

本实施例中，作为一种进一步的技术方案，所述循环管路6的表面设置有冷却装置9。

具体的，该冷却装置9可以为盘绕于循环管路6上的冷却管，通过加入冷却液后进行对其进行降温。

当然，除此之前，也可以采用其他降温结构，例如：降温包覆结构，降温风机等等。

本实施例中，作为一种进一步的技术方案，所述槽体8的内部设置有振动装置11。当然，该振动装置11会与控制系统信号连接，在有篮状态下，振动装置11开始工作，反应产生的气泡，在外力作用下，通过振动板震动将产生气从硅片表面有效脱附，从而减少绒面白点状况。振动装置11的具体设置为不受限制，例如：可以装在所述槽体8的底部。

本实施例中，作为一种进一步的技术方案，所述槽体8的内部设置有加热装置12。该加热装置12可以起到加热的作用。加热装置12的具体设置为不受限制，例如：可以装在所述槽体8的底部。

优选的，该振动装置11和加热装置12可以单独使用，也可以组合在一起共同使用。

例如：在槽体8的底部设置有一固定装置10，该固定装置10具有多个用于放置加热装置12(加热板)的固定槽，花篮进槽后是放置在加热板上，四周通过固定槽限位固定。每个加热装置12的内部设置有一偏心装置，该偏心装置通过凸轮装置(振动装置11)与电机连接。这样可以实现加热装置12也带有振动功能。其中，控制系统可与加热装置12、电机信号连接，在槽体8内有篮状态下，电机接收到信号开始工作，无篮时停止工作。从而达到反应产生的气泡有效脱附。

更进一步的，还可以在所述槽体8的内部增加传感器元件，可以实现自动检测有篮和无篮状态，并反馈给控制系统。

本实施例中，槽体8内的药液在循环泵5作用，由槽体8的出液口经过循环管路6，再经过冷却装置9降温后进入槽壁管7，然后由进液口进入槽体8内部。

本实施例中改进后优点：

一)、取消外槽，节省药液及槽体8材料，降低成本

二)、循环管路6长度大大减小，药液循环一次出液到进液只需经过130cm即可，另外它是从槽体8的四面同时进液，更加大大提升药液的循环次数，同样固定时间内药液循环次数大大增加，保证了药液均匀性

三)、药液进槽方式改为四壁流入式，可避免槽内局部压力过大现象，保证槽内药液平稳性，

实施例二

本实施例二在实施例一的基础之上，还提供一种电池制造设备。该电池制造设备包括实施例一中所述的硅片制绒槽体装置。当然，该电池制造设备还包括其他与硅片制绒槽体装置相配合其他设备，例如：花篮等等。

结合图2至图5所示，具体的，该硅片制绒槽体装置包括：循环泵5、循环管路6和槽体8；所述槽体8的侧面设置有槽壁管7，所述槽壁管7上设置进液口，所述槽体8的底面设置有出液口；所述循环泵5的第一端通过循环管路6与所述槽壁管7连通，所述循环泵5的第二端与所述槽体8的出液口连通。该硅片制绒槽体装置节省了槽体8材料，同时节省溶液量，降低成本，由原来的一根管道直接由内槽底部冲入槽内的循环方式更改为由四边槽壁流入槽内，这样会大大提升药液循环的平稳性，并且由槽壁流入槽内的方式会大大降低由于循环导致槽内产生的气泡在固定时间内不容易消散而导致的绒面质量问题，而且循环管路6长度缩短一半，大大提升固定时间内溶液循环的次数，保证药液更好的均匀度。

至于硅片制绒槽体装置的其他特征，已在上面实施例一中详细描述，此处不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。