硅片制绒系统及其鼓泡装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片制绒系统及其鼓泡装置。该鼓泡装置用于设置在硅片制绒系统的工作槽中，包括多孔板和通气管；所述多孔板用于设置在所述工作槽中，所述多孔板上开设有多个第一孔；所述通气管用于设置在所述多孔板的靠近所述工作槽的底部的一侧，所述通气管内开设有通气通道，所述通气管的内壁上开设有多个第二孔。上述硅片制绒系统及其鼓泡装置，不仅能提高工作中工作液的流动性，使得工作内工作液均匀分布，且使得整个硅片表面与工作液充分接触，使得硅片表面均匀。
【专利说明】
硅片制绒系统及其鼓泡装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及硅片加工技术领域，特别是涉及一种鼓泡装置及具有该鼓泡装置的硅片制绒系统。
【背景技术】
[0002]硅片加工方式正在由传统的砂浆切割转换成新型的金刚线切割技术，金刚线切割可以大幅降低生产成本，同时更符合绿色生产理念。针对新型的金刚线切割工艺，尤其是树脂金刚线切割多晶硅片的加工过程中，存在金刚线硅片制绒表面不均匀，严重降低金刚线电池片的转化效率的问题。
[0003]采用金刚线切割方式加工的硅片在后续制绒或清洗时，工作液在工作槽中流动不均匀，在反应时间内工作液与硅片表面接触时间与局部浓度不一致，导致硅片表面结构不均匀，进而严重降低最终电池的转化效率。
【实用新型内容】
[0004]基于此，有必要针对如何提高工作槽中的工作液的流动均匀性的问题，提供一种鼓泡装置及具有该鼓泡装置的硅片制绒系统。
[0005]—种鼓泡装置，用于设置在硅片制绒系统的工作槽中，包括:
[0006]多孔板，所述多孔板用于设置在所述工作槽中，所述多孔板上开设有多个第一孔；以及
[0007]通气管，所述通气管用于设置在所述多孔板的靠近所述工作槽的底部的一侧，所述通气管内开设有通气通道，所述通气管的内壁上开设有多个第二孔。
[0008]上述鼓泡装置，通过将其设置在装有工作液的工作槽中，鼓泡装置包括多孔板和通气管，多孔板上开设有多个第一孔，通气管设置在多孔板靠近工作槽的底部的一侧，且通气管的内壁上开设有多个第二孔，从而当气体进入通气管后，气体会从第二孔中流出，气体再经过开设在多孔板上的第一孔，从而气体将工作槽中的工作液均匀鼓动，进而改善工作槽中的工作液的流动均匀性。
[0009]在其中一个实施例中，所述第一孔为锥形孔，且所述第一孔的靠近所述通气管的开口的面积大于所述第一孔的远离所述通气管的开口的面积。
[0010]通过将第一孔设置为锥形孔，从而使得气体经过第一孔的时候，调整气体上升的速率，进而进一步提高工作槽中工作液的流动均匀性。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一孔的靠近所述通气管的开口的形状为圆形，且所述第一孔的靠近所述通气管的开口的孔径为1.5厘米-2.5厘米，所述第一孔的远离所述通气管的开口的孔径为3晕米-6晕米。
[0012]在其中一个实施例中，所述多孔板的厚度为0.8厘米-1.3厘米。
[0013]在其中一个实施例中，所述多孔板的开孔率为0.5-0.9。
[0014]在其中一个实施例中，所述通气管呈连续S状设置。
[0015]在其中一个实施例中，所述多个第二孔开设在所述通气管的远离所述多孔板的一侧的内壁上。
[0016]通过将多个第二孔开设在通气管的远离多孔板的一侧的内壁上，从而气体通过第二孔后垂直地向工作槽的底部流动，气体再从工作槽的底部慢慢往上流动，从而使得工作液被更加均匀鼓动，进一步提高工作槽中工作液的流动均匀性。
[0017]在其中一个实施例中，所述多个第二孔的孔径小于I毫米。
[0018]在其中一个实施例中，从所述多孔板的边缘到所述多孔板的中心的方向，所述多个第二孔的分布密度逐步增大。
[0019]在其中一个实施例中，还包括支架，所述支架用于设置在所述多孔板靠近所述工作槽的底部的一侧，所述支架包括两个基板和连接所述两个基板的连接部，所述两个基板分别与所述多孔板连接，且所述两个基板呈对称设置，所述通气管设置在所述多孔板与所述支架之间。
[0020]一种硅片制绒系统，其特征在于，包括工作槽和上述鼓泡装置，所述鼓泡装置设置在所述工作槽中。
[0021 ]上述硅片制绒系统，通过鼓泡装置，使得工作槽中的工作液被均匀鼓动，提高工作液的流动均匀性。
【附图说明】
[0022]图1为一实施例的多孔板的俯视图；
[0023]图2为图1中所不的多孔板的仰视图；
[0024]图3为一实施例的通气管的结构示意图；
[0025]图4为一实施例的支架的结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]如图1所示，一实施例的鼓泡装置包括多孔板110和通气管(未示出)。该鼓泡装置用于设置在硅片制绒系统的工作槽中，尤其是金刚线切割方式加工的硅片的制绒系统中。该工作槽中盛有工作液。
[0027]具体地，多孔板110设置在工作槽中。在本实施例中，多孔板110的厚度为0.8厘米-1.3厘米。通气管用于设置在多孔板110的靠近工作槽的底部的一侧，通气管内开设有通气通道。
[0028]在本实施例中，多孔板110和工作槽的内壁接触连接。再参考图2，多孔板110上开设有多个第一孔111。多孔板110的开孔率为0.5-0.9。其中，第一孔111的数量和分布根据可以根据硅片的大小和工作液的多少等进行确定。
[0029]在本实施例中，如图1所示，第一孔111为锥形孔，且第一孔111的靠近通气管的开口 1111的面积大于第一孔111的远离通气管的开口 1112的面积，也就是说，第一孔111的横截面在从工作槽的底部到工作槽的开口的方向上逐渐增大。通过将第一孔设置为锥形孔，从而使得气体经过第一孔的时候，气体的上升速率得到控制，且使得气体扩散的时候更加均匀，进而进一步提高工作槽中工作液的流动均匀性，使得硅片制绒结构更均匀。
[0030]此外，第一孔111的开口 1111的形状为圆形，第一孔111的开口 1112的形状也为圆形，且第一孔111的开口 1111的孔径为1.5厘米-2.5厘米，第一孔111的开口 1112的孔径为3毫米-6毫米，从而保证通气管中流出的气体能全部通过第一孔111，同时，还能均匀鼓动工作液。
[0031]再参考图3，通气管120上开设有第二孔121，且通气管120呈连续S状设置。需要说明的是，通气管120可以直接与多孔板110连接或通气管120也可以与工作槽的内壁连接等。通气管120由耐酸碱的材质制成。在本实施例中，通气管120为耐酸碱的软管。
[0032]当通气管120呈连续S状设置时，使得从第二孔121上出来的气体对更多反应液起到鼓动作用，不会导致气体集中在某一个区域，进而导致气体对反应液的鼓动部均匀。
[0033]因此，在本实施例中，如图4所示，鼓泡装置还包括支架130，支架130设置在多孔板110的靠近工作槽的底部的一侧。支架130包括两个基板131和连接两个基板131的连接部132。两个基板131分别与多孔板110连接，且两个基板131呈对称设置，优选地，两个基板131还跟工作槽的内壁接触连接。
[0034]再参考图4，连接部132的数量为两个，两个连接部132呈平行设置。需要说明的是，连接部132的数量可以为一个，也可以为两个以上。
[0035]通过支架130的设置，从而固定通气管120，通气管120设置在多孔板110和支架130之间。通气管120穿过多孔板110和支架130的连接部132之间的空隙，且通气管120呈连续S型。
[0036]此外，在本实施例中，多个第二孔121开设在通气管120的远离多孔板110的一侧的内壁上。从而气体通过第二孔121后垂直地向工作槽的底部流动，气体再从工作槽的底部慢慢往上流动，从而使得工作液被更加均匀鼓动，进一步提高工作槽中工作液的流动均匀性。
[0037]第二孔121的孔径小于I毫米，且从多孔板110的边缘到多孔板110的中心位置的方向，多个第二孔121的分布密度逐步增大，也就是说，通气管120越靠近工作槽的内壁的部分的内壁上开设的第二孔121的数量越少。从而使得较多的气体由反应槽中间区域扩散出来，气体再向反应槽的四周扩散，使得气体扩散更加均匀，进而使得反应液的鼓动更加均匀。
[0038]在本实施例中，工作槽为反应槽或清洗槽。由于采用金刚线切割方式加工而成的硅片的表面不均匀，从而将该硅片放置在在反应槽中通过反应液进行制绒时，反应液在反应槽中不均匀，在反应时间内制绒液与硅片表面接触时间与局部浓度也不一致，从而会导致硅片表面结构不均匀。根据实际需要，通过调节气体流量调节气泡大小，提高反应槽中的反应液的流动性，使得反应槽内反应液均匀分布，且使得整个硅片表面与反应液充分接触，从而金刚线硅片制绒时硅片表面结构均匀，进而提高电池的转化效率。
[0039]此外，当工作槽为清洗槽时，金刚线切割中由于使用水基冷却液，更易促使硅粉与水反应，而此种无定型态反应产物会造成后期清洗困难，造成清洗槽内清洗液的流动性差，会造成硅片表面脏污残留，经常出现脏污硅片，必须进行返工清洗、增加清洗剂、延长清洗时间等操作，使工作效率降低、加工成本增加。而通过在清洗槽中设置鼓泡装置，通过气体的鼓动作用，提高清洗槽中的清洗液的流动性，使得清洗槽内工作液均匀分布，且使得整个硅片表面与清洗液充分接触，进而清洗时，硅片表面的脏污能被充分洗净。
[0040]上述鼓泡装置，通过将其设置在装有工作液的工作槽中，鼓泡装置包括多孔板110和通气管120，多孔板110上开设有多个第一孔111，通气管120设置在多孔板110靠近工作槽的底部的一侧，且通气管120的内壁上开设有多个第二孔121，从而当气体进入通气管120后，气体会从第二孔121中流出，气体再经过开设在多孔板110上的第一孔111，从而气体将工作槽中的工作液均匀鼓动，进而改善工作槽中的工作液的流动均匀性。
[0041]—实施例的硅片制绒系统，包括上述鼓泡装置和工作槽。鼓泡装置设置在工作槽中。
[0042]上述硅片制绒系统，通过鼓泡装置，使得工作槽中的工作液被均匀鼓动，提高工作液的流动均匀性。
[0043]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0044]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种鼓泡装置，用于设置在硅片制绒系统的工作槽中，其特征在于，包括: 多孔板，所述多孔板用于设置在所述工作槽中，所述多孔板上开设有多个第一孔；以及 通气管，所述通气管用于设置在所述多孔板的靠近所述工作槽的底部的一侧，所述通气管内开设有通气通道，所述通气管的内壁上开设有多个第二孔。2.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，所述第一孔为锥形孔，且所述第一孔的靠近所述通气管的开口的面积大于所述第一孔的远离所述通气管的开口的面积。3.根据权利要求2所述的鼓泡装置，其特征在于，所述第一孔的靠近所述通气管的开口的形状为圆形，且所述第一孔的靠近所述通气管的开口的孔径为1.5厘米-2.5厘米，所述第一孔的远离所述通气管的开口的孔径为3毫米-6毫米。4.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，所述多孔板的开孔率为0.5-0.9。5.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，所述通气管呈连续S状设置。6.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，所述多个第二孔开设在所述通气管的远离所述多孔板的一侧的内壁上。7.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，所述多个第二孔的孔径小于I毫米。8.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，从所述多孔板的边缘到所述多孔板的中心的方向，所述多个第二孔的分布密度逐步增大。9.根据权利要求1所述的鼓泡装置，其特征在于，还包括支架，所述支架用于设置在所述多孔板靠近所述工作槽的底部的一侧，所述支架包括两个基板和连接所述两个基板的连接部，所述两个基板分别与所述多孔板连接，且所述两个基板呈对称设置，所述通气管设置在所述多孔板与所述支架之间。10.—种硅片制绒系统，其特征在于，包括工作槽和权利要求1-9中任一项所述的鼓泡装置，所述鼓泡装置设置在所述工作槽中。
【文档编号】H01L31/18GK205501451SQ201620278836
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月6日
【发明人】阮文娟, 陈鹏鲲, 吉鑫, 宫龙飞
【申请人】苏州协鑫光伏科技有限公司