技术编号:16616588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种风刀,特别是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。背景技术风刀是现代工业加工中使用较为广泛的加工刀具,因其噪音少,节能环保,对环境污染少的优点在越来越多的加工中发挥不可替代的作用。在硅片制绒技术中,聚晶制绒机、刻蚀机的酸碱槽内的药液反应后,需要清洗硅片表面残留的药液,在冲洗后硅片表面仍会残留大量水滴,而现有的风刀为单气孔风刀,风刀在吹干分水的过程中距离气孔较远的位置吹干效果差,这就造成整体吹干过程中需要进行多次不同位置的吹干,整体吹干工序较为繁琐复杂,吹干工序的整体成本较高,后...
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