一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀的制作方法

本实用新型涉及一种风刀，特别是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。

背景技术：

风刀是现代工业加工中使用较为广泛的加工刀具，因其噪音少，节能环保，对环境污染少的优点在越来越多的加工中发挥不可替代的作用。在硅片制绒技术中，聚晶制绒机、刻蚀机的酸碱槽内的药液反应后，需要清洗硅片表面残留的药液，在冲洗后硅片表面仍会残留大量水滴，而现有的风刀为单气孔风刀，风刀在吹干分水的过程中距离气孔较远的位置吹干效果差，这就造成整体吹干过程中需要进行多次不同位置的吹干，整体吹干工序较为繁琐复杂，吹干工序的整体成本较高，后期的维护维修也较为麻烦。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种结构简单合理、硅片表面吹干效果好的用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的充气升压装置将升压后的气体经进气管充入储气空腔后，经刀身内的风槽压出风槽外吹干硅片表面。

进一步的，所述的进气管个数为三个。

进一步的，所述的储气空腔顶部设有对应刀身内风槽长度的进气槽。

进一步的，所述的进气槽的宽度大于风槽的宽度。

本实用新型的有益效果是：相较于现有的风刀技术，本实用新型通过将现有技术的风刀中使用较多的气孔改进成风槽，使原本直接从气孔中喷出的气流均匀地从风槽中喷出，均匀地吹干带有水分的硅片表面，避免气孔吹干的过程中出现的吹干不均匀的问题，多根进气管排列的设计使整体风刀在进气和出气过程中，不会出现现有技术的风刀中进气管附近的气压较大，远离进气管的部分气压不足的问题，整体风刀的气流和气压更为均匀，吹干效果更好，在生产上提升吹干这一工序的工作效率，另外，风槽的设计使整体风刀一次即可吹干水分，提升了整体风刀吹干的处理效率，降低生产过程中吹干这一工序的生产成本，提升整体生产的生产效率。

附图说明

图1是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀的整体结构示意图。

图2是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀拆除充气升压装置后的截面示意图。

图3是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀拆除充气升压装置后的俯视图。

附图中编号表示的零部件名称如下：1、储气空腔；2、进气管；3、充气升压装置；4、刀身；5、风槽。

具体实施方式

为了使得本实用新型实现的技术手段，创新特征与功能易于了解，下面将进一步阐述本实用新型。

如图1、图2和图3所示，本实用新型用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀的一种实施例，包括纵向截面为球形的储气空腔1、多根进气管2、刀身4和充气升压装置3，所述的进气管2沿长度方向设于储气空腔1顶部，进气管2与储气空腔1内部空腔连通，所述的刀身4设于储气空腔1底部，刀身4内沿进气管2排列方向开有一条或多条相间的风槽5，本实施例为一条风槽5。所述的风槽5与储气空腔1内部空腔连通，所述的充气升压装置3将升压后的气体经进气管2充入储气空腔1后，经刀身4内的风槽5压出风槽5外吹干硅片表面。

相较于现有技术中单根进气管2的设计，本实用新型多根进气管2的设计对于整体风刀进气更为稳定，风刀使用过程中的吹干效果更好，同一方向相对位置的进气管2和风槽5的设计使得储气空腔1的进气和风槽5的出气更为直接，有利于风刀吹干硅片表面的水分，提升企业的生产效率。

本实施例中所述的进气管2个数为三个，三个进气管2的设计既能保证进气量，确保风刀吹干水分的使用性能的同时，又能保证整体风刀的进气量不会过多，对充气升压装置3的性能要求过高，避免生产资源的浪费，降低生产使用成本。当然也可根据实际风槽5的长度和风压需要，调整进气管2的数量。

本实施例中所述的所述的储气空腔1顶部设有对应刀身4内风槽5长度的进气槽，所述的进气槽的宽度大于风槽5的宽度。进气槽的设计使得整体风刀进风更稳定，进风量更容易控制，对充气升压装置3性能的要求更低，进风槽也使得进风后气流在风槽喷出更为稳定均匀，整体吹干效率更高，硅片表面的吹干效果更好，整体风刀推进一次即可完成大部分吹干工序，需要完全吹干时再进行多次重复推进即可。

虽然本实用新型已以具体实施例公开如上，然而其并非用以限定本实用新型，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，仍可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围应当视所附的权利要求书的范围所界定者为准。