技术总结
一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的充气升压装置将升压后的气体经进气管充入储气空腔后，经刀身内的风槽压出风槽外吹干硅片表面。风槽的设计能均匀地吹干带有水分的硅片表面，多根进气管排列的设计使整体风刀在进气和出气过程中，不会出现现有技术的风刀中进气管附近的气压较大，远离进气管的部分气压不足的问题，整体风刀的气流和气压更为均匀，吹干效果更好。
技术研发人员：吴文州
受保护的技术使用者：永嘉利为新能源有限公司
技术研发日：2018.06.12
技术公布日：2019.01.15