技术编号:16641744
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氟化工技术领域,具体涉及一种制备电子级氟化氢洗涤吸收装置的使用方法。背景技术电子级氟化氢主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于光伏、集成电路等行业,是这些行业的关键辅助材料之一,由于杂质砷对电子器件的性能有严重影响,因此砷的脱除是氟化氢提纯的关键技术,通常采用的方法是使用氧化剂把三价砷氧化为高沸点五价砷化合物,再利用挥发性差别将其蒸馏排除。中国发明专利(专利号为CN201110276860.4,专利名称为一种制备电子级氢氟酸的方法)公开了一种制备电子级氢氟酸的方法,包括以下步骤:(1)工业级无水...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。