技术编号:16664379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种平台式喷洒装置,尤其涉及一种可通过喷嘴对基板的整个表面上均匀供给流体的喷洒装置。背景技术液晶显示面板使用具有多层结构的功能性薄膜的基板,该基板通过薄膜蒸镀工艺、照相平版印刷工艺以及蚀刻及剥离工艺而制造。在各工艺中,蚀刻及剥离工艺为直接将具有预定图案的功能性薄膜真正形成在基板上的工艺,该工艺采用向基板喷射蚀刻液或剥离液等流体的方式。例如台湾专利证书号第I387488号所披露的“流体喷射装置”,包括:具有作业空间的作业槽;用于喷射流体的喷嘴;相隔配置在该作业空间的多个喷射管;与该喷射管...
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