平台式喷洒装置的制作方法

本发明涉及一种平台式喷洒装置，尤其涉及一种可通过喷嘴对基板的整个表面上均匀供给流体的喷洒装置。

背景技术：

液晶显示面板使用具有多层结构的功能性薄膜的基板，该基板通过薄膜蒸镀工艺、照相平版印刷工艺以及蚀刻及剥离工艺而制造。在各工艺中，蚀刻及剥离工艺为直接将具有预定图案的功能性薄膜真正形成在基板上的工艺，该工艺采用向基板喷射蚀刻液或剥离液等流体的方式。例如台湾专利证书号第i387488号所披露的“流体喷射装置”，包括：具有作业空间的作业槽；用于喷射流体的喷嘴；相隔配置在该作业空间的多个喷射管；与该喷射管相连接且通过连杆运动而使该喷嘴的喷射角度发生变化的动力传递机构；以及为使该动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。

上述的流体喷射装置提供通过喷嘴摆动动作对基板的整个表面上均匀供给流体，其为喷管不动而喷嘴左右张角往复喷洒方式，喷嘴摇摆至两侧与中央时，流体对于基板的冲击力量大小不一，使得喷洒的力量较不均匀，导致蚀刻或剥离程度较不稳定。

综上所述，本发明人察觉上述缺陷可以改善，于是潜心研究并配合学理的应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题，在于提供一种平台式喷洒装置，流体对于基板的冲击力量固定，喷洒的力量较为均匀。

为了解决上述的技术问题，本发明提供一种平台式喷洒装置，包括：一装置本体，其内部形成有腔室；一喷洒组，其设置于该装置本体的腔室内，该喷洒组包含多个喷洒管，每一喷洒管的底部间隔地设有多个喷嘴，该些喷嘴固定朝向下方；以及一平移驱动机构，其设置于该装置本体上，该平移驱动机构连接于该喷洒组，该平移驱动机构能用以驱动该喷洒组平移往复运动。

优选的，该平移驱动机构能驱动该喷洒组沿着该些喷洒管的纵长方向往复运动。

优选的，该平移驱动机构包含一马达、一传动盘、一摆动杆及一连动杆，该传动盘连接于该马达，该摆动杆的一端连接于该传动盘的偏心位置，该摆动杆的另一端连接于该连动杆，该连动杆连接于该喷洒组。

优选的，该传动盘的偏心位置设有多个连接点，该些连接点至该传动盘的中心点的距离不相等，该摆动杆的一端连接于该些连接点的其中之一。

本发明的有益效果：

本发明的喷洒组设有多个喷洒管，每一喷洒管的底部设有多个喷嘴，且驱动机构能用于驱动喷洒组平移往复运动，使得由该些喷嘴喷洒出的流体全面性的喷洒至基板上。本发明的该些喷嘴固定朝向下方，因此流体对于基板的冲击力量固定，使得喷洒的力量较为均匀。

再者，本发明平移驱动机构可包含马达、传动盘、摆动杆及连动杆，传动盘的偏心位置设有多个连接点，该些连接点至传动盘的中心点的距离不相等，摆动杆的一端连接于该些连接点的其中之一，使得传动盘的偏心距离可以调整，喷洒组的平移滑动行程可以调整。

为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制者。

附图说明

图1为本发明平台式喷洒装置的立体图。

图2为本发明平台式喷洒装置局部构造的立体图。

图3为本发明平台式喷洒装置局部构造的平面图。

图4为本发明平台式喷洒装置喷洒流体的示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明平台式喷洒装置的实施方式，本领域的普通技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明也可通过其他不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的精神下进行各种修改与变更。又本发明的附图仅为简单说明，并非依实际尺寸描绘，也就是说未反应出相关构成的实际尺寸，先予叙明。以下的实施方式进一步详细说明本发明的观点，但并非以任何观点限制本发明范围。

请参阅图1至图3，本发明提供一种平台式喷洒装置，尤其涉及一种可通过喷嘴对基板的整个表面上均匀供给流体的喷洒装置，该平台式喷洒装置包括一装置本体1、一喷洒组2及一平移驱动机构3。

该装置本体1为一中空体，装置本体1的内部形成有腔室11，亦即在装置本体1内可划分形成有多个腔室11，该些腔室11的上端处形成开口状。腔室11能供基板沿着一搬送方向前进，沿着基板的搬送方向可设有搬送机构，搬送机构可为间隔设置的多个搬送滚轮14，通过旋转来驱动该些搬送滚轮14，可用于搬送基板沿着搬送方向前进。装置本体1相对的两侧分别设有一输入口12及一输出口13，输入口12及输出口13呈狭长状的开口，可供基板通过。输入口12及输出口13与腔室11相连通，以便将待处理的基板经由输入口12输入至腔室11内部，经过处理后的基板，再通过输出口13向外输出，换言之，基板的搬送方向即输入口12至输出口13的方向。

该喷洒组2设置于装置本体1的腔室11内，该喷洒组2包含多个喷洒管21，喷洒管21为一长管体，喷洒管21的两端予以适当的密封。喷洒管21的截面可呈圆形，但喷洒管21截面的形状并不限制。该些喷洒管21间隔的设置，该些喷洒管21可相互平行。该些喷洒管21可以固定于一喷管架22上，喷管架22活动的设置于装置本体1上，以便通过喷管架22带动该些喷洒管21同步移动。在本实施例中，尚包括有至少一滑轨15，滑轨15固设于装置本体1，而该喷管架22活动的设置于滑轨15。该些喷洒管21的纵长方向(轴向)是垂直于基板的搬送方向，但该些喷洒管21的排列方向并不限制，亦可适当的加以变化。

每一喷洒管21的底部间隔的设有多个喷嘴23，亦即该些喷嘴23设置于喷洒管21的正下方，该些喷嘴23固定朝向下方。该些喷嘴23与喷洒管21的内部相连通，该些喷洒管21以适当的管路连通于流体(处理液)，以便将流体输送至该些喷洒管21，再由该些喷嘴23将流体向下喷洒而出。该些喷嘴23皆设置于喷洒管21的底部，且该些喷嘴23固定朝向下方，没有角度摇摆，因此该些喷嘴23至基板的距离相等。

该平移驱动机构3设置于装置本体1上，平移驱动机构3可设置于装置本体1的一侧，平移驱动机构3优选是设置于装置本体1一侧靠近中间的位置。平移驱动机构3连接于喷洒组2，该平移驱动机构3能用于驱动喷洒组2平移往复运动。平移驱动机构3能驱动喷洒组2沿着该些喷洒管21的纵长方向往复运动，在本实施例中，喷洒组2平移往复运动的方向是垂直于基板的搬送方向，可获得优选的喷洒效果。

在本实施例中，平移驱动机构3包含一马达31、一传动盘32、一摆动杆33及一连动杆34，传动盘32连接于马达31，亦即传动盘32的中心可连接于马达31，以便通过马达31来驱动传动盘32旋转，摆动杆33的一端连接于传动盘32的偏心位置，摆动杆33的另一端则连接于连动杆34，连动杆34再连接于喷洒组2，连动杆34可连接于喷洒组2的喷管架22等处，使得平移驱动机构3得以连接于喷洒组2。当马达31驱动传动盘32旋转时，可通过摆动杆33带动连动杆34及喷洒组2沿着该些喷洒管21的纵长方向平移往复运动。连动杆34亦可进一步穿设于滑动套35中，该滑动套35固定于装置本体1上，滑动套35能引导连动杆34稳定的平移往复运动。

在本实施例中，传动盘32的偏心位置设有多个连接点321、322、323及324，连接点321、322、323及324可为连接孔，该些连接点321、322、323及324至传动盘32的中心点的距离不相等，摆动杆33的一端可以选择连接于该些连接点321、322、323及324的其中之一，使得传动盘32的偏心距离可以调整，亦即喷洒组2的平移滑动行程可以调整。摆动杆33的一端可以利用枢轴325穿设等方式连接于连接点321、322、323或324。

本发明平移驱动机构3的结构并不限制，在本发明的另一实施例中，马达31也可以通过其他现有的传动机构(如凸轮)来驱动喷洒组2平移往复运动。再者，马达31也能以气缸或油缸等其他型式的动力源取代。

本发明的喷洒组2设有多个喷洒管21，且每一喷洒管21的底部设有多个喷嘴23，可将流体输送至该些喷洒管21，再由该些喷嘴23将流体向下喷洒，该些喷嘴23喷洒的涵盖范围可以部分的重叠(如图4所示)。该驱动机构3能用于驱动喷洒组2进行平移往复运动，使得由该些喷嘴23喷洒出的流体全面性的喷洒至基板上。

本发明的该些喷嘴固定朝向下方，因此流体对于基板的冲击力量固定，喷洒的力量较为均匀，使得蚀刻或剥离程度可以较为稳定。

再者，本发明平移驱动机构可包含马达、传动盘、摆动杆及连动杆，传动盘的偏心位置设有多个连接点，该些连接点至传动盘的中心点的距离不等，摆动杆的一端连接于该些连接点的其中之一，使得传动盘的偏心距离可以调整，亦即喷洒组的平移滑动行程可以调整。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非旨在局限本发明的专利保护范围，故凡是运用本发明说明书及附图内容所作的等效变化，均同理皆包含于本发明的权利保护范围内。