技术编号：16688840
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种定位底座，特别指一种设置于传送盒底部的定位底座。背景技术常见用于搬运晶圆或光罩的传送盒的尺寸大约为200mm、300mm、450mm，其利用一定位底座来装载于加工或搬运装置上，而目前现有的定位底座如中国台湾专利号I260729所公开的基板收纳容器，以内圈外圈各三个定位点以定位并支撑该传送盒。然而，由于晶圆尺寸变大，于搬运过程所使用的传送盒的尺寸及重量皆须随之增加，因此，若以现有三个定位点的支撑方式来支撑该传送盒，则传送盒的变形量以及支撑点所承受的应力会变大，如此一来，可能会减少...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。