定位底座的制作方法

本发明是有关于一种定位底座，特别指一种设置于传送盒底部的定位底座。

背景技术：

常见用于搬运晶圆或光罩的传送盒的尺寸大约为200mm、300mm、450mm，其利用一定位底座来装载于加工或搬运装置上，而目前现有的定位底座如中国台湾专利号i260729所公开的基板收纳容器，以内圈外圈各三个定位点以定位并支撑该传送盒。然而，由于晶圆尺寸变大，于搬运过程所使用的传送盒的尺寸及重量皆须随之增加，因此，若以现有三个定位点的支撑方式来支撑该传送盒，则传送盒的变形量以及支撑点所承受的应力会变大，如此一来，可能会减少传送盒的使用寿命，或导致传送盒的定位点错位，进而造成存放于传送盒中的晶圆或光罩的损坏，也增加工作人员于半导体厂房内的安全疑虑。

因此，目前亟需一种新颖的定位底座，可配置于大尺寸的传送盒，且增加定位点以及支撑点，以分散传送盒施加于定位底座上的重量，藉此可稳定该传送盒的定位位置，并减少传送盒的变形量。

技术实现要素：

为了达到上述的目的，本发明提供一种设置于加大尺寸的传送盒底部的定位底座，该定位底座设置有定位部以及支撑部，当该传送盒藉由定位底座搭载于一运输装置上时，定位部可提供定位及支撑的功能，而支撑部可提供额外的支撑力以分散该传送盒的重量。

本发明所公开的定位底座设置于一传送盒底部以承载该传送盒。该定位底座包括：一板体，包含一顶面以及相对该顶面的一底面，该顶面面朝该传送盒；至少三个定位部，设置于该板体的底面上；以及至少一支撑部，设置于该板体的底面上；其中，该定位底座通过所述定位部以及所述支撑部而分别搭载在一运输装置中对应该定位部的至少一定位销上及对应该支撑部至少一支撑销上。

根据上述的定位底座，于垂直该传送盒的一门体的方向上定义平分该板体的一中心线，所述定位部以该中心线为基准，对称地设置于该板体上。所述支撑部亦以该中心线为基准，对称地设置于该板体上。

于本发明中，所述定位部的数量的最大值并无特别的限制，且可为单数或复数，只要以该中心线为基准，对称地设置于板体上即可；所述支撑部的数量也无特别的限制，可为单数或复数，只要能对称地设置于板体上即可。然而，于一优选实施方式中，可参照图2，所述定位部的数量为三，其中一个设置于该板体的中心在线，另外两个以该中心线为基准，对称地设置于该板体上，而所述支撑部的数量为二，以该中心线为基准，对称地设置于该板体上。

于本发明中，每一定位部包含至少一定位点，该定位点自该底面朝该顶面的方向内凹，并具有一第一内面及一第一倾斜面，该第一倾斜面围绕该第一内面，当该定位底座搭载在该运输装置时，以该第一倾斜面或该第一内面接触该定位销。所述定位点的数量并无特别的限制，可视该定位底座所配合搭载的运输装置的型态而定。

而于一优选实施方式中，每一定位部所包含的该定位点的数量为二，分别为一外圈定位点及一内圈定位点，所述外圈定位点靠近该板体外围，所述内圈定位点靠近该板体中心，当该定位底座搭载在该运输装置上时，所述定位销仅对应所述外圈定位点或所述内圈定位点中的一个，并与之接触。

此外，上述的定位底座中，所述定位点中的该第一倾斜面具有一平滑表面或一粗糙表面，以提供所述定位点与所述定位销之间不同的摩擦力，举例而言，该第一倾斜面可具有一粗糙表面，如此一来可降低定位点与所述定位销之间的摩擦力，使得定位销可较顺利地与该第一内面接触。

于本发明中，所述支撑部包含至少一支撑孔，所述支撑孔自该底面朝该顶面的方向内凹，并具有一第二内面及一第二倾斜面，该第二倾斜面围绕该第二内面，当该定位底座搭载在该运输装置时，以该第二倾斜面或该第二内面接触该支撑销。所述支撑孔的数量并无特别的限制，可视该定位底座所配合搭载的运输装置的型态而定，此外，一个支撑部所包含的支撑孔数量优选与一个定位部所包含的定位点数量相同。

而于一优选实施方式中，每一支撑部所包含的该支撑孔的数量为二，分别为一外圈支撑孔及一内圈支撑孔，所述外圈支撑孔靠近该板体外围，所述内圈支撑孔靠近该板体中心，当该定位底座搭载在该运输装置上时，所述支撑销仅对应所述外圈支撑孔或所述支撑孔中的一个，并与之接触。

该第二倾斜面具有一平滑表面或一粗糙表面，以提供所述支撑孔与所述支撑销之间不同的摩擦力，举例而言，该第二倾斜面可具有一粗糙表面，如此一来可降低支撑孔与所述支撑销之间的摩擦力，使得支撑销可较顺利地与该第二内面接触。

上述的定位底座增加了定位点以及支撑点的数量，可配置于大尺寸的传送盒底部，以分散传送盒施加于定位底座上的重量，藉此可稳定该传送盒的定位位置，并减少传送盒的变形量。

附图说明

图1为本发明一实施方式的传送盒及定位底座的立体示意图。

图2为本发明一实施方式的定位底座底视图。

图3为本发明另一实施方式的定位底座底视图。

图4为本发明一实施方式的定位部的截面图。

图5为本发明一实施方式的支撑部的截面图。

【主要元件】

1定位底座

10板体

101顶面

102底面

11定位部

111外圈定位点

1111第一倾斜面

1112第一内面

112内圈定位点

12支撑部

121外圈支撑点

1211第二倾斜面

1212第二内面

122内圈支撑点

2传送盒

21门体

3中心线

41定位销

411、421顶面

412、422侧面

42支撑销

具体实施方式

以下藉由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。只是需注意的是，以下附图均为简化的示意图，附图中的组件数目、形状及尺寸可依实际实施状况而随意变更，且组件布局状态可更为复杂。本发明亦可藉由其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的精神下进行各种修饰与变更。

首先，如图1所示，本发明所提供的定位底座1设置于一传送盒2的底部，该传送盒2包括一门体21。

接着请参照图2，图2为绘示该定位底座1的底视图，其中，该定位底座包括一板体10、三个定位部11、以及两个支撑部12。其中，该板体10包含一顶面101以及相对顶面101的一底面102，该顶面101面朝该传送盒2的底部，且与该传送盒2接触。该底面102上设置有三个定位部11以及两个支撑部12。本实施方式中，以垂直该门体21的方向上定义平分该板体10的一中心线3，而三个定位部11以该中心线3为基准，对称地设置于该板体10上，如图2所示，其中两个定位部11对称该中心线3而设置于该板体1的两个角落，而另一定位部11则是设置于该中心线3上，并对称该中心线3。此外，两个支撑部12同样以该中心线3为基准，对称地设置于该板体10上，如图2所示，两个支撑部12对称该中心线3而设置于该板体1的另外两个角落上。

然而，另一实施方式的定位底座1如图3所示，该板体10可包括三个定位部11以及四个支撑部12，其中，三个定位部11以及四个支撑部12皆以该中心线3为基准而对称地设置。然而，本发明的定位部11及支撑部12的数量以及设置位置并不受限于此，只要对称该中心线3而设置即可。

此外，该定位底座1可搭载在一运输装置中，且该运输装置包括对应该定位部11的三个定位销41、以及对应该支撑部12的两个支撑销42，故当该定位底座搭载于该运输装置上时，该定位销41可与该定位部11组配，该支撑销42可与该支撑部12组配，使得该运输装置于传送该传送盒2时，该传送盒2可保持稳定。

详细而言，每一定位部11中包括两个定位点，为一外圈定位点111以及一内圈定位点112。该外圈定位点111与该内圈定位点112皆具有一自该底面102朝该顶面101方向内凹的结构，如图4所示，并各自具有一第一内面1112以及一第一倾斜面1111，而于本实施例中，该外圈定位点111与该内圈定位点112彼此相连而形成为一长形凹槽，而该外圈定位点111靠近该板体10的外围；该内圈定位点112则是靠近该板体10的中心。此外，每一支撑部12同样包括两个支撑点，为一外圈支撑点121以及一内圈支撑点122。该外圈支撑点121与该内圈支撑点122皆具有一自该底面102朝该顶面101方向内凹的结构，如图5所示，并各自具有一第二内面1212以及一第二倾斜面1211，而于本实施例中，该外圈支撑点121与该内圈支撑点122彼此相连而形成为一长形凹槽，而该外圈支撑点121靠近该板体10的外围；该内圈支撑点122则是靠近该板体10的中心。

接着，当该定位底座1搭载于该运输装置时，该运输装置上与该定位底座1接触的组件上具有对应该外圈定位点111或内圈定位点112的多个定位销41、以及对应外圈支撑点121或内圈支撑点122的多个支撑销42。优选地，每一定位部11仅对应一个定位销41，且所有的定位销41同时对应所有的外圈定位点111或所有的内圈定位点112而设置；所有的支撑销42亦同时对应所有的外圈支撑点121或所有的内圈支撑点122而设置，可依不同运输装置而设计该定位销41及支撑销42所分别对应的定位点及支撑点。

请再参照图4，该定位底座1搭载在该运输装置时，该定位销41对应该外圈定位点111，且与该外圈定位点111组配，如图4所示，该定位销41紧配于该外圈定位点111中，且该定位销41的顶面411与该第一内面1112接触，而该定位销41的侧面412抵掣该定位部11的部分内表面，因此该定位销41可稳固地组配于该外圈定位点111中，并确保该传送盒2于传送过程中可稳定地搭载于该运输装置上。接着请参照图5，该定位底座1搭载在运输装置时，该支撑销42对应该外圈支撑点121，并与该外圈支撑点42组配，该支撑销42以其顶面421与该第二内面1212接触，而其侧面422则不一定与该支撑部12的内表面接触，故在此情况下，该支撑销42仅提供支撑功能，增加定位底座1与运输装置间的接触面积，以平均分配该传送盒2的重量，避免该传送盒2因自身的重量而产生变形。

再者，该第一倾斜面1111或该第二倾斜面1211可具有一平滑表面或一粗糙表面，可依需求或组配的运输装置而设计，而粗糙表面可降低定位销41或支撑销42与对应的定位点或支撑点之间的摩擦力，使得该定位销41及该支撑销42可顺利地分别与该第一内面1112及第二内面1212接触。