技术编号：16771804
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于单晶炉下驱动装置的减震装置。背景技术单晶炉对工作环境的要求很严苛，对下驱动装置的精度要求也很高，因此就需要通过减震器来缓冲、吸收外界的震动，避免外界震动影响下驱动装置工作，但现有的减震器结构复杂，且减震效果不理想，进而使得下驱动装置的精度受到影响，进而影响晶棒的质量。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种用于单晶炉下驱动装置的减震装置，它可以有效地缓冲、吸收外界的震动，以避免下驱动装置受到外界震动的影响，进而保证下驱动装置的工作精度，且结构简单、...
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