技术编号:16790283
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于驱动设备,具体地说是直线运动电机。背景技术直线电机作为半导体、LCD/LED制作设备,起着原物料、设备等的运送功能。目前使用的直线电机多使用伺服电机或步进马达搭配丝杆驱动,具有以下缺点:1、驱动源为步进电机或伺服电机,都是外置安装,占用较大安装空间,连接机构安装导致的累计误差量大;2、步进电机步距角一般为1.8°或者3.6°,步距角度在实际运行中会影像到丝杆传动的精度;3、伺服电机虽然使用脉冲信号控制,但是模组装配中,丝杆安装时与安装基座的同心度,丝杆与滑轨之间的平行度误差都会直接...
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