技术编号:16835704
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于滤芯技术领域,具体涉及一种提高纯水电阻率的滤芯组件。背景技术在微电子行业中,去离子纯水(超纯水)用途广泛,它可以用在:半导体、电路芯片集成及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、集成电路等方面,而集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前,一般采用电子清洗超纯水设备制取超纯水。电子清洗超纯水设备制取超纯水工艺主要有如下几种:1、预处理、反渗透、中间水箱、水泵、EDI装置、纯化水箱、纯水泵、紫外线杀菌器、抛光混床、0.2或0.5μm精密过滤器...
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