一种提高纯水电阻率的滤芯组件的制作方法

本实用新型属于滤芯技术领域，具体涉及一种提高纯水电阻率的滤芯组件。

背景技术：

在微电子行业中，去离子纯水(超纯水)用途广泛，它可以用在：半导体、电路芯片集成及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、集成电路等方面，而集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前，一般采用电子清洗超纯水设备制取超纯水。

电子清洗超纯水设备制取超纯水工艺主要有如下几种：

1、预处理、反渗透、中间水箱、水泵、EDI装置、纯化水箱、纯水泵、紫外线杀菌器、抛光混床、0.2或0.5μm精密过滤器、用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)、排放回预处理系统；

2、预处理、一级反渗透、加药机(PH调节)、中间水箱、第二级反渗透(正电荷反渗膜)、纯水箱、纯水泵、EDI装置、紫外线杀菌器、0.2或0.5μm精密过滤器、用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)、排放回预处理系统；

3、预处理、反渗透、中间水箱、水泵、EDI装置、纯水箱、纯水泵、紫外线杀菌器、0.2或0.5μm精密过滤器、用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)、排放回预处理系统；

4、预处理系统、反渗透系统、中间水箱、纯水泵、粗混合床、精混合床、紫外线杀菌器、精密过滤器、用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)、排放回预处理系统。

经过较为繁杂步骤和工序以及花费较大的人力物力处理才能得到超纯水，而且，在使用一次后就需要重新处理，费时费力。

技术实现要素：

基于上述背景技术中提到的问题，本实用新型提供了一种提高纯水电阻率的滤芯组件，主要解决用水点清洗后的纯水净化回收再利用的问题，使得超纯清洗水不需要回预处理系统，经过过滤芯的过滤作用即可再次回到用水点，可节省能耗，极大地降低成本。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种提高纯水电阻率的滤芯组件，包括外壳和安装在外壳上的筒盖，所述外壳为上端开口的筒状结构，所述筒盖安装在外壳开口端，所述筒盖上设有进水管和出水管，所述外壳内壁设有安装座、安装座底端为容纳腔，所述安装座上开设有与容纳腔连通的进液槽，所述容纳腔内设有混合阴阳离子树脂，所述安装座上安装有内芯，所述内芯包括上座和底座，所述上座和底座之间安装有活性炭外滤层和隔离层，所述活性炭外滤层和隔离层的两端分别与上座和底座固定连接，所述隔离层上开设有通孔，所述活性炭外滤层与隔离层之间设有聚醚砜折叠膜，所述上座与筒盖密封连接，所述上座上开设有出水口，所述出水口与出水管连通。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还做了如下改进：

进一步限定，所述外壳底端为球面结构、且于最底端设有残液排除管，所述残液排除管开口端安装有密封盖。这样的结构设计，通过残液排除管在更换混合阴阳离子树脂时可对混合阴阳离子树脂排出，同时外壳底端的球面结构可将残液集中，可将残液排尽。

进一步限定，所述安装座上轴向开设有安装槽，所述底座上设有与安装槽相匹配的定位凸起。这样的结构设计，通过安装槽与定位凸起的配合可较好的对内芯进行定位安装，同时可使安装后的内芯不会产生位移。

进一步限定，所述出水管位于筒盖中心位置，所述进水管位于出水管一侧，所述筒盖内部于出水管位置开设有第一连接凸起，所述第一连接凸起上开设有连接槽，所述上座上于出水口外部设有第二连接凸起，所述第二连接凸起顶端开设有第一垫圈槽，所述第一垫圈槽内安装有第一密封垫圈，所述第二连接凸起卡设在连接槽内。这样结构设计，通过第二连接凸起与连接槽的配合对上座进行定位，同时配合第一密封垫圈实现对上座和筒盖之间的密封，使得隔离层内部腔体与内芯外部空间完全隔离。

进一步限定，所述连接槽的截面为等腰梯形结构。这样的结构设计，便于第二连接凸起和连接槽的连接配合。

进一步限定，所述进水管和出水管外壁均开设有第二垫圈槽，所述第二垫圈槽内均安装有第二密封垫圈。这样的结构设计，可使进水管与出水管与外部接头连接时，具备较好的密封性。

本实用新型的有益效果：

由于超纯清洗水本身主要清洗微电子生产工艺中的微小颗粒和一些离子，超纯清洗水冲洗微电子生产设备后，本身仍比较干净，通过活性炭外滤层作为支撑骨架，吸附冲洗水中的有机物和杂质，通过聚醚砜折叠膜过滤冲洗水中的微小杂质，通过混合阴阳离子树脂与冲洗水中过滤不掉的其他阴阳离子进行吸附交换，释放出H⁺和OH^-，使冲洗水纯度提高，从而可使冲洗水可以再次作为超纯清洗水返回用水点，无需重新处理。

附图说明

本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；

图1为本实用新型一种提高纯水电阻率的滤芯组件实施例的结构示意图；

图2为本实用新型一种提高纯水电阻率的滤芯组件实施例中的纵截结构示意图；

图3为本实用新型一种提高纯水电阻率的滤芯组件实施例中筒盖的纵截结构示意图；

图4为本实用新型一种提高纯水电阻率的滤芯组件实施例中外壳的纵截结构示意图；

图5为本实用新型一种提高纯水电阻率的滤芯组件实施例中内芯的纵截结构示意图；

图6为本实用新型一种提高纯水电阻率的滤芯组件实施例中聚醚砜折叠膜的结构示意图；

主要元件符号说明如下：

外壳1、残液排除管11、密封盖12、安装座13、进液槽131、安装槽132、筒盖2、进水管21、出水管22、第二密封垫圈23、第一连接凸起24、连接槽241、上座31、底座32、活性炭外滤层33、聚醚砜折叠膜34、隔离层35、第二连接凸起36、第一垫圈槽361、通孔37、容纳腔4。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。

实施例

如图1～6所示，本实用新型的一种提高纯水电阻率的滤芯组件，包括外壳1和安装在外壳1上的筒盖2，外壳1为上端开口的筒状结构，筒盖2安装在外壳1开口端，筒盖2上设有进水管21和出水管22，进水管21和出水管22外壁均开设有第二垫圈槽，第二垫圈槽内均安装有第二密封垫圈23，外壳1底端为球面结构、且于最底端设有残液排除管11，残液排除管11开口端安装有密封盖12，外壳1内壁设有安装座13、安装座13下方为容纳腔4，安装座13上开设有与容纳腔4连通的进液槽131，容纳腔4内填充有混合阴阳离子树脂，其中树脂的骨架结构为苯乙烯—二乙烯苯共聚体，是一种凝胶型树脂，有效粒径在0.4-0.6mm，阳树脂离子型式≥99％H⁺，功能基团为-SO3，阴树脂离子型式≥95％OH^-，功能基团为-N(CH3)3，阳树脂和阴树脂比例为1:2；安装座13上安装有内芯，内芯包括上座31和底座32，安装座13上轴向开设有安装槽132，底座32上设有与安装槽132相匹配的定位凸起，，上座31和底座32之间安装有活性炭外滤层33和隔离层35，活性炭外滤层33和隔离层35的两端分别与上座31和底座32固定连接，隔离层35上开设有通孔37，活性炭外滤层33与隔离层35之间设有聚醚砜折叠膜34，出水管22位于筒盖2中心位置，进水管21位于出水管22一侧，筒盖2内部于出水管22位置开设有第一连接凸起24，第一连接凸起24上开设有连接槽241，连接槽241的截面为等腰梯形结构，上座31上开设有出水口，出水口与出水管22连通，上座31上于出水口外部设有第二连接凸起36，第二连接凸起36顶端开设有第一垫圈槽361，第一垫圈槽361内安装有第一密封垫圈，第二连接凸起36卡设在连接槽241内。

在使用时，清洗水经进水管21进入，再通过进液槽131进入容纳腔4内与混合阴阳离子树脂进行混合，随着清洗水的持续进入，外壳内压力增强，清洗水与混合阴阳离子树脂的混合液体充满外壳内部，经过活性炭外滤层33和聚醚砜折叠膜34的过滤后，清洗水经出水管22排出，重新回到用水点。

以上对本实用新型提供的一种提高纯水电阻率的滤芯组件进行了详细介绍。具体实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。