技术编号：16849007
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及一种用于处理微机电系统(MEMS)组件的方法。背景技术微机电系统(Micro electro-mechanical system；MEMS)运动传感器现广 泛用于汽车用电子设备、医疗设备、硬盘驱动器以及便携式消费电子产品。 举例来说，典型的智能手机包括MEMS加速度计、陀螺仪以及可能存在的指 南针。单轴MEMS加速度计检测给定方向上的速度变化，其几乎普遍用于在 发生撞击的情况下为汽车安全气囊充气。由于振动可模式化为以周期方式快 速发生的加速与减速，因此所述单轴MEMS加速度计也用...
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