技术编号：16867513
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及洗净喷砂遮蔽技术领域，具体涉及一种半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具。背景技术因对沉积环部件表面有粗糙度要求，需要对沉积环部件表面进行喷砂处理，在对洗净再生中的沉积环部件进行喷砂遮蔽保护时，通常是采用耐高温胶带对沉积环部件非喷砂区域进行保护，但是手工裁剪耐高温胶带会导致保护区域边缘不齐整，且耐高温胶带无法重复利用，增加生产成本；在喷砂过程中，操作压力过大容易造成耐高温胶带破损，喷砂面产生印迹，用胶带覆盖的部件会有残胶留在表面，造成对沉积环部件的污染，清洗困难。实用新型内...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。