技术编号:16908155
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化工领域,特别涉及一种扩散泵油的合成方法。背景技术特种甲苯基硅油作为高真空扩散泵油具有极低的饱和蒸汽压,极高的极限真空;优异的化学稳定性和氧化稳定性以及热稳定性。适用于高真空扩散泵,如阴极射线管、电容器镀膜系统、超纯硅生产、光学仪器镀膜、质谱仪等高真空系统。在国防军工和民用高真空技术领域具有广泛应用。其中以下两种结构的甲基苯基硅油效果最好。结构Ⅰ为1,1,5,5-四苯基-1,3,3,5-四甲基三硅氧烷,在国内称274扩散泵油,美国称704扩散泵油;结构Ⅱ为1,1,3,5,5-五苯基-1...
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