技术编号:16910032
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具,具体说是一种半导体设备化学气相沉积装置陶瓷金属部件洗净保护专用治具。背景技术对陶瓷金属部件进行洗净作业时,需要对陶瓷部件表面用药水进行擦拭清理,去除陶瓷与金属表面附着的残留膜,常规做法是人工使用菜瓜布蘸取药水打磨表面,但是在人工作业时,部件边缘极易发生碰撞,陶瓷破损,造成产品不良。实用新型内容为解决现有技术存在的上述问题,本申请提出一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具,在洗净以及搬运过程中,用于保护部件。为实现上述目的,本申请的技术方案为:一种陶瓷金属...
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