一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具的制作方法

本实用新型涉及一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具，具体说是一种半导体设备化学气相沉积装置陶瓷金属部件洗净保护专用治具。

背景技术：

对陶瓷金属部件进行洗净作业时，需要对陶瓷部件表面用药水进行擦拭清理，去除陶瓷与金属表面附着的残留膜，常规做法是人工使用菜瓜布蘸取药水打磨表面，但是在人工作业时，部件边缘极易发生碰撞，陶瓷破损，造成产品不良。

技术实现要素：

为解决现有技术存在的上述问题，本申请提出一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具，在洗净以及搬运过程中，用于保护部件。

为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具，包括：治具本体，所述治具本体为圆环结构，在圆环结构的内壁上设有凸起结构，每个凸起结构上均有固定通孔，在固定通孔中设有螺丝杆；安装孔分布在圆环结构上，支撑杆中间部位位于安装孔中。

进一步的，所述治具本体的材质选用不锈钢。

进一步的，所述凸起结构有两组，每组的凸起结构相对的设置在圆环结构的内壁上。

进一步的，圆环结构上均匀分布有3个安装孔。

本实用新型由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：本申请的保护冶具制作成本低，操作简单；采用该保护治具，将陶瓷边缘包裹保护，即使部件边缘产生碰撞，也可以避免陶瓷破损，另外设计了支撑杆，部件的搬运和翻转也易于操作。

附图说明

图1为一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具结构示意图；

图2为一种陶瓷金属部件洗净保护专用治具平剖图；

图中序号说明：1、治具本体；2、固定通孔；3、螺丝杆；4、支撑杆；5、凸起结构；6、安装孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的描述：以此为例对本申请做进一步的描述说明。

如图1-2所示，本实施例提供一种治具，是专门为英特尔公司使用的半导体设备化学气相沉积装置陶瓷金属部件洗净保护的专用治具，具体包括：治具本体，所述治具本体为圆环结构，在圆环结构的内壁上设有凸起结构，每个凸起结构上均有固定通孔，在固定通孔中设有螺丝杆；安装孔分布在圆环结构上，支撑杆中间部位位于安装孔中。

上述治具的工作方法为：将待洗净部件放入治具本体中，使用螺丝杆通过固定通孔将待冲洗部件与治具本体固定连接，通过安装孔将3个支撑杆安装完成。

以上所述，仅为本实用新型创造较佳的具体实施方式，但本实用新型创造的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型创造披露的技术范围内，根据本实用新型创造的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型创造的保护范围之内。