蓝宝石晶柱定位端面检测夹具的制作方法

文档序号:16909942发布日期:2019-02-19 18:34阅读:348来源:国知局
蓝宝石晶柱定位端面检测夹具的制作方法

本实用新型属于LED领域蓝宝石晶柱加工成蓝宝石晶片流程中,定C面切两端时晶体定向仪所用到的,特别是所用到测定两端面的定位端面夹具,涉及蓝宝石晶柱定位端面检测二维方向调整,找出符合检测精度要求的C方向,再将晶柱与夹具整体送到磨床对蓝宝石晶柱进行定位端面加工的蓝宝石晶柱定位端面检测夹具。



背景技术:

生长出来的蓝宝石单晶晶坨,先初步找出晶向,加工成规定的各种直径晶柱,精确定向蓝宝石晶体C向,磨床对第一端面磨平后再定位加工定位端面,再将蓝宝石晶柱加工成晶片,加工后的蓝宝石单晶晶片,需要没有晶体缺陷及满足晶向角度精度要求。

过去由于蓝宝石晶体定向仪没有专门的晶柱定位端面检测夹具,传统的蓝宝石晶柱定位端面检测及加工,采用的是在蓝宝石定向仪通用夹具上进行的方式,夹具体积大、操作复杂、C向定向检测精度低,满足不了精度要求高蓝宝石晶柱定位端面检测及加工的需要。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供蓝宝石晶柱定位端面检测夹具,具有结构简单、操作简便、占用空间小、蓝宝石晶片复检精度高等优点。

采用的技术方案是:

蓝宝石晶柱定位端面检测夹具,包括晶柱夹紧部分和方向调整部分。

其技术要点在于:

晶柱夹紧部分包括在夹紧板上设置的至少一组夹紧装置。

夹紧板孔位于夹紧板中部。

横向设置夹紧板上开有左螺纹光孔和右螺纹光孔,左螺纹光孔和右螺纹光孔位于夹紧板孔的左右两侧。

左螺纹光孔内装设竖向左螺钉。右螺纹光孔内装设竖向右螺钉。

左螺钉上套设有左弹簧,左弹簧的上下两端分别与夹紧板下表面和基准板上表面相抵顶。

右螺钉上套设有右弹簧,右弹簧的上下两端分别与夹紧板下表面和基准板上表面相抵顶。

方向调整部分:包括横向设置的基准板。

基准板下部开槽设有横向设置的转块,基准板与转块之间的中间部位是一个球,球上部与基准板下表面接触。

转块的左右两侧分别开设有转块左螺纹光孔和转块右螺纹光孔。

转块左螺纹光孔内中部设有左销轴,左销轴的轴线为前后水平方向设置。

转块右螺纹光孔内中部设有右销轴,右销轴的轴线为前后水平方向设置。

转块左螺纹光孔位于左螺纹光孔下方,左螺钉下部穿入左销轴的螺纹孔内,左螺钉下部与左销轴的螺纹孔螺纹连接。

转块右螺纹光孔位于右螺纹光孔下方,右螺钉下部穿入右销轴的螺纹孔内,右螺钉下部与右销轴的螺纹孔螺纹连接。

生长出来的蓝宝石单晶晶坨,先初步找出晶向,加工成规定的各种直径晶柱,蓝宝石晶柱需精确定向晶柱第一端面、定位端面C向,磨床对第一端面磨削加工后,蓝宝石晶柱再定位、磨削加工定位端面,最后将蓝宝石晶柱加工成成品晶片,加工后的蓝宝石单晶晶片,需要没有晶体缺陷及满足晶向角度精度要求。

过去由于蓝宝石晶体定向仪没有专门的晶柱第一端面、定位端面检测夹具,传统的蓝宝石晶柱第一端面、定位端面检测及加工,采用的是在蓝宝石定向仪通用夹具上进行的,夹具体积大、操作复杂、C向定向检测精度低,满足不了精度要求高蓝宝石晶柱第一端面、定位端面检测及加工的需要,本夹具涉及蓝宝石晶柱定位端面检测夹具。

其优点在于:

本实用新型具有结构简单、使用方便、占用空间小、加工后蓝宝石晶片复检精度高等优点。

附图说明

图1是蓝宝石晶柱定位端面检测夹具主视图。

图2是蓝宝石晶柱定位端面检测夹具主视三维图。

图3是蓝宝石晶柱定位端面检测夹具上视三维图。

基准板1、左销轴2、转块3、球4、左弹簧5、左螺钉6、夹紧板7、螺母8、压头9、螺杆轴10、把手11、左球面垫12、蓝宝石晶柱13、左螺纹光孔14、右螺纹光孔15、转块左螺纹光孔16、第一端面17、定位端面18、夹紧板孔19。

具体实施方式

蓝宝石晶柱定位端面检测夹具,包括晶柱夹紧部分和方向调整部分。

晶柱夹紧部分包括两组横向设置的夹紧装置。

每组夹紧装置均包括压头9、螺杆轴10和把手11。把手11为星形把手。

压头9为空心碗状结构。

把手11与螺杆轴10为一体,螺杆轴10为二段阶梯型螺杆,大直径段螺杆穿过夹紧板7的螺纹孔,螺杆轴10和夹紧板7螺纹连接。

螺杆轴10头部螺纹段穿过碗状结构的压头9中心孔,由不锈钢螺母8将压头9固定在螺杆轴10上,压头9碗状上沿将蓝宝石晶柱13固定在夹紧板7上。

横向设置夹紧板7上开有左螺纹光孔14和右螺纹光孔15,左螺纹光孔14和右螺纹光孔15位于夹紧板孔19的左右两侧。

夹紧板孔19位于夹紧板7中部,压头9位于夹紧板孔19内。

夹紧板孔19位于两个压头9和相对方向的区域为四棱柱形,夹紧板孔19设有蓝宝石晶柱13。

两组夹紧装置分别位于夹紧板孔19后侧左右两边,将蓝宝石晶柱13夹紧在夹紧板7前端尖端区域内。

所述的四棱柱形的四个尖端位于夹紧板7的前后左右方向,如图1所示。

左螺纹光孔14内装设竖向左螺钉6,左螺钉6帽和夹紧板7上表面之间设有左球面垫12,左球面垫12球面朝上。

右螺纹光孔15内装设竖向右螺钉,右螺钉帽和夹紧板7上表面之间设有右球面垫,右球面垫球面朝上。

左螺钉6和右螺钉均为内六角沉头螺钉。压头9为铜压头。

左螺钉6和右螺钉的位置在蓝宝石晶柱13左右对称设置。

左螺钉6上套设有左弹簧5,左弹簧5的上下两端分别与夹紧板7下表面和基准板1上表面相抵顶。

右螺钉上套设有右弹簧,右弹簧的上下两端分别与夹紧板7下表面和基准板1上表面相抵顶。

方向调整部分:包括横向设置的基准板1。

基准板1下部开槽设有横向设置的转块3,基准板1与转块3之间的中间部位是一个球4。

球4设置在转块3中间的球槽里,上部与基准板1下表面接触,球4为钢球。

转块3的左右两侧分别开设有转块左螺纹光孔16和转块右螺纹光孔。

转块左螺纹光孔16内中部设有左销轴2,左销轴2的轴线为前后水平方向设置。

转块右螺纹光孔内中部设有右销轴,右销轴的轴线为前后水平方向设置。

转块左螺纹光孔16位于左螺纹光孔14下方,左螺钉6下部穿入左销轴2的螺纹孔内,左螺钉6下部与左销轴2的螺纹孔螺纹连接。

转块右螺纹光孔位于右螺纹光孔下方,右螺钉下部穿入右销轴的螺纹孔内,右螺钉下部与右销轴的螺纹孔螺纹连接。

其工作原理为:

调整两个把手11,通过螺杆轴10、螺母8,带动空心碗状结构的压头9,分别压向四棱柱的蓝宝石晶柱13的两个面,将四棱柱的蓝宝石晶柱13的另外两个棱柱面与夹紧板7尖前端紧密接触,固定蓝宝石晶柱13的位置。

转块3的左右两个螺纹光孔分别装有带内螺纹孔的销轴,两个弹簧上部是夹紧板7,下部是基准板1。两个内六角沉头螺钉穿过夹紧板7的左右螺纹光孔后,在两个内六角沉头螺钉光轴部分别装有弹簧,再穿过基准板1与转块3的左右两个螺纹光孔,最后与分别与左右两个销轴连接。

蓝宝石晶柱13第一端面17与基准板1上光滑表面有缝隙时,可以根据实际情况,调整两端的带球面垫的内六角沉头螺钉的高低位置,可使转块3可沿回转中心球4中心摆动,由于弹簧的作用,对于夹紧板7进行微调,微调的角度为与水平面摆动0.5度以内,夹紧板7带着蓝宝石晶柱13的第一端面17与基准板1上光滑表面紧密接触,

由于蓝宝石晶柱13第一端面17已经过了精确定向,当蓝宝石晶柱13第一端面17与基准板1上光滑表面紧密接触贴合时,固定在夹紧部分的蓝宝石晶柱13上部的定位端面理论上处于C方向的位置,将本检测夹具放置在定向仪工作台上进行C方向复检,C方向复检后,蓝宝石晶柱13随本检测夹具一起,从定向仪工作台上取下,转到磨床对蓝宝石晶柱定位端面磨削加工。

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