技术编号:17084378
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法。背景技术目前部分企业多晶喷涂由人工喷涂改为采用机器人自动喷涂,自动喷涂设备由机器人系统,喷涂控制系统,加热系统、涂料供给系统共同组成。现有自动喷涂方法包括以下步骤:(1)原料:氮化硅粉700~900g、硅溶胶200~450g;(2)将原料按粉水比1:2~3加入超纯水,在3~5升PP刻度量杯中配制为喷涂浆料,接入涂料供给系统中。坩埚放入坩埚加热系统中进行加热;(3)机器人系统的单个工位喷涂程序包括以下7个步骤:第1步:竖向喷涂坩埚左面,枪距24~30c...
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