一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法与流程

文档序号：17084378发布日期：2019-03-09 00:42阅读：399来源：国知局

本发明涉及一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法。

背景技术：

目前部分企业多晶喷涂由人工喷涂改为采用机器人自动喷涂，自动喷涂设备由机器人系统，喷涂控制系统，加热系统、涂料供给系统共同组成。现有自动喷涂方法包括以下步骤：

（1）原料：氮化硅粉700～900g、硅溶胶200～450g；

（2）将原料按粉水比1:2～3加入超纯水，在3~5升pp刻度量杯中配制为喷涂浆料，接入涂料供给系统中。坩埚放入坩埚加热系统中进行加热；

（3）机器人系统的单个工位喷涂程序包括以下7个步骤：

第1步：竖向喷涂坩埚左面，枪距24～30cm，枪数8～10枪，枪间距10～14cm，移点速度40～60%，喷涂速度420～460mm/s，输出参数1和3；

第2步：竖向喷涂坩埚上面，枪距24～30cm，枪数7～9枪，枪间距10～14cm，移点速度40～60%，喷涂速度420～460mm/s，输出参数1和3；

第3步：竖向喷涂坩埚右面，枪距24～30cm，枪数7～9枪，枪间距10～14cm，移点速度40～60%，喷涂速度420～460mm/s，输出参数1和3；

第4步：清洁坩埚下面浮尘，枪距25～35cm，枪数1枪，移点速度40～60%，喷涂速度480～520mm/s，输出参数9；

第5步：竖向喷涂坩埚下面，枪距24～30cm，枪数6～8枪，枪间距10～14cm，移点速度40～60%，喷涂速度430～470mm/s，输出参数4；

第6步：竖向喷涂坩埚底面，枪距24～30cm，枪数6～8枪，枪间距10～14cm，移点速度40～60%，喷涂速度530～570mm/s，输出参数2；

第7步：横向喷涂坩埚四个侧面，枪距24～30cm，枪数16～24枪，枪间距4～10cm，移点速度30～50%，喷涂速度580～620mm/s，输出参数5；

一方面因硅晶体由坩埚下部向上生长、铸锭炉气流扰动、热场本身的不均匀性决定坩埚各处的涂层厚度要求不同，换种说法，就是自动喷涂工艺没有专门去匹配铸锭的需求；另一方面，随着自动喷涂的进行，在高温情况下，浆料更易在枪嘴堆积结垢，影响喷涂均匀性，喷枪稳定性下降，导致涂层厚薄不均匀。

针对以上多晶自动喷涂与铸锭需求匹配性差，喷枪稳定性下降导致涂层厚薄不均匀问题，此发明专利就是为解决这些问题。

技术实现要素：

本发明其目的就在于提供一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法，解决了现有多晶自动喷涂与铸锭需求匹配性差，喷枪稳定性下降导致涂层厚薄不均匀问题。

为实现上述目的而采取的技术方案是，一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法，该自动喷涂方法包括以下步骤：

（1）配置喷涂浆料，并将配制好的喷涂浆料接入涂料供给系统中，对加热中的坩埚进行喷涂；

（2）横向喷涂坩埚四个侧面a，枪距20cm，枪数7～9枪，枪间距10～18cm，移点速度30～50%，喷涂速度830～870mm/s，输出参数5；

（3）竖向喷涂坩埚左面，枪距18～23cm，枪数10～12枪，枪间距9～12cm，移点速度40～60%，喷涂速度680～720mm/s，输出参数1和输出参数3；

（4）竖向喷涂坩埚上面，枪距18～23cm，枪数9～11枪，枪间距9～12cm，移点速度40～60%，喷涂速度680～720mm/s，输出参数1和输出参数3；

（5）竖向喷涂坩埚右面，枪距18～23cm，枪数9～11枪，枪间距9～12cm，移点速度40～60%，喷涂速度680～720mm/s，输出参数1和输出参数3；

（6）清洁坩埚下面浮尘，枪距25～35cm，枪数1枪，移点速度40～60%，喷涂速度580～520mm/s，输出参数9；

（7）竖向喷涂坩埚下面，枪距18～23cm，枪数8～10枪，枪间距9～12cm，移点速度40～60%，喷涂速度630～680mm/s，输出参数4；

（8）竖向喷涂坩埚上面右部，枪距18～23cm，枪数3～5枪，枪间距9～12cm，移点速度40～60%，喷涂速度680～720mm/s，输出参数6；

（9）竖向喷涂坩埚底面或横向喷涂坩埚底面，枪距18～23cm，枪数8～10枪，枪间距9～12cm，移点速度30～50%，喷涂速度830～870mm/s，输出参数2；

（10）竖向喷涂坩埚右面上部，枪距18～23cm，，枪数3～5枪，枪间距9～12cm，移点速度40～60%，喷涂速度680～720mm/s，输出参数6；

（11）横向喷涂坩埚四个侧面b，枪距18～23cm，枪数7～9枪，枪间距4～8cm，移点速度30～50%，喷涂速度830～870mm/s，输出参数5，完成喷涂。

所述输出参数1为雾化压力2.6～3.0kgf/cm²，雾形压力2.3～2.7kgf/cm²，流量阀压力0.9～1.1kgf/cm²，开枪时间0.4～0.6s。

所述输出参数2为雾化压力2.6～3.0kgf/cm²，雾形压力2.6～3.0kgf/cm²，流量阀压力1.1～1.3kgf/cm²，开枪时间0.9～1.1s。

所述输出参数3为雾化压力2.6～3.0kgf/cm²，雾形压力2.2～2.6kgf/cm²，流量阀压力0.7～0.9kgf/cm²，开枪时间0.4～0.6s。

所述输出参数4为雾化压力2.6～3.0kgf/cm²，雾形压力2.3～2.7kgf/cm²，流量阀压力0.9～1.1kgf/cm²，开枪时间0.4～0.6s。

所述输出参数5为雾化压力2.6～3.0kgf/cm²，雾形压力2.4～2.8kgf/cm²，流量阀压力1.1～1.3kgf/cm²，开枪时间0.9～1.1s。

所述输出参数6为雾化压力2.6～3.0kgf/cm²，雾形压力2.3～2.7kgf/cm²，流量阀压力0.9～1.1kgf/cm²，开枪时间0.2～0.4s。

所述输出参数9为雾化压力2.5～3.5kgf/cm²，雾形压力2.5～3.5kgf/cm²，流量阀压力0kgf/cm²，开枪时间2～2.5s。

有益效果

与现有技术相比本发明具有以下优点。

本发明的优点是，通过增加多晶自动喷涂与铸锭需求的匹配程度，对通过调整喷枪与坩埚的距离，枪的间距，调整不同区域喷涂的气压，提高喷涂速度等措施，提高了喷枪设备稳定性，增强了喷涂均匀性。

附图说明

以下结合附图对本发明作进一步详述。

图1为本发明方法与原工艺浆料粘埚率对比图。

具体实施方式

一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法，该自动喷涂方法包括以下步骤：