技术编号：17127014
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及无尘室技术领域，具体为一种无尘室微粒子污染微控制系统。背景技术近年来受益全球半导体、平板显示等行业产能向中国加速转移，以及医药、食品行业国内新版GMP和欧盟CGMP等相关认证的要求，我国防静电/洁净室行业高速增长，2015年我国洁净室工程行业市场规模达767.55亿元，同时防静电超净技术产品市场规模将达763.92亿元，目前我国正处于产业升级换代阶段，而全球半导体、光电企业向中国转移、产业结构的调整将大大加快现代高新技术产业的发展步伐，未来液晶面板市场中医疗设备、公共商用显示屏幕以及特...
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