一种无尘室微粒子污染微控制系统的制作方法

文档序号:17127014发布日期:2019-03-16 00:36阅读:266来源:国知局
一种无尘室微粒子污染微控制系统的制作方法

本发明涉及无尘室技术领域,具体为一种无尘室微粒子污染微控制系统。



背景技术:

近年来受益全球半导体、平板显示等行业产能向中国加速转移,以及医药、食品行业国内新版gmp和欧盟cgmp等相关认证的要求,我国防静电/洁净室行业高速增长,2015年我国洁净室工程行业市场规模达767.55亿元,同时防静电超净技术产品市场规模将达763.92亿元,目前我国正处于产业升级换代阶段,而全球半导体、光电企业向中国转移、产业结构的调整将大大加快现代高新技术产业的发展步伐,未来液晶面板市场中医疗设备、公共商用显示屏幕以及特殊车载显示设备则是近几年来面板厂商主要发展方向。集成电路、光电、生物制药、医疗卫生等下游客户在此阶段均出现较为快速的发展,在下游行业维持较高景气度、企业数量增加、技术进步等综合因素的作用下,下游客户对生产环境要求不断提高,洁净室工程和超净产品行业的需求也越来越大(如大规模和超大规模集成电路的生产要求具备百级、十级洁净度的空间,医学领域的无尘无菌室、手术室洁净度要求达到百级水平),在这种行业市场规模不断扩大的环境下,作为无尘室最重要的性能指标的微颗粒污染控制则成为重中之重,各种测试仪器和测试方法也应运而生。

传统的无尘室微颗粒污染控制功能不易扩张,成本较高,不易施工,数据分析处理不够灵活。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种无尘室微粒子污染微控制系统,以解决上述背景技术中提出的无尘室微颗粒污染控制功能较差的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种无尘室微粒子污染微控制系统,包括控制板,所述控制板上分别设置有485芯片、无线网络收发器、分析仪和内存卡,所述控制板与粒子计数器相连接,且粒子计数器一侧设置有空气采样口,粒子计数器另一侧设置有流量计,所述流量计一侧设置有与其相连通的空气泵,且空气泵与流量计之间设置有电磁阀,所述芯片与粒子计数器和流量计相连接,所述无线网络收发器设有数据采集与监控模块,且数据采集与监控模块包括视频图像数据库、图片数据库和警报数据库,所述分析仪上设置有指示灯、温湿传感器和空气泵。

优选的,所述控制板与粒子计数器、流量计、空气泵、电磁阀、组态电脑、视频图像数据库、摄像头、指示灯、温湿传感器和空气泵之间并联电性连接。

优选的,所述粒子计数器包括第一透镜组、测量腔、第二透镜组、光检测器和放大电路,所述第一透镜组一侧设置有测量腔,且测量腔一侧设置有第二透镜组,第二透镜组一侧设置有光检测器,光检测器一侧设置有放大电路。

优选的,所述视频图像数据库通过组态电脑显现。

优选的,所述摄像头采集的数据储存在视频图像数据库内。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:该无尘室微粒子污染微控制系统通过采用意法半导体和加速器,具有动态功耗调整功能,能够在运行模式下和从存储器执行时实现低电流消耗。

附图说明

图1为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统结构示意图;

图2为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统控制器连接示意图;

图3为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统计数器控制示意图;

图4为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统粒子计数器连接示意图;

图5为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统电路示意图;

图6为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统串行示意图;

图7为本发明一种无尘室微粒子污染微控制系统接口示意图。

图中:1、控制板,2、485芯片,3、无线网络收发器,4、分析仪,5、内存卡,6、粒子计数器,601、第一透镜组,602、测量腔,603、第二透镜组,604、光检测器,605、放大电路,7、空气采样口,8、流量计,9、空气泵,10、电磁阀,11、组态电脑,12、温湿传感器,13、数据采集与监控模块,14、视频图像数据库,15、图片数据库,16、警报数据库,17、摄像头,18、指示灯。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-7,本发明提供一种技术方案:一种无尘室微粒子污染微控制系统,包括控制板1、485芯片2、无线网络收发器3、分析仪4、内存卡5、粒子计数器6、空气采样口7、流量计8、空气泵9、电磁阀10、组态电脑11、温湿传感器12、数据采集与监控模块13、视频图像数据库14、图片数据库15、警报数据库16、摄像头17和指示灯18,控制板1上分别设置有485芯片2、无线网络收发器3、分析仪4和内存卡5,控制板1与粒子计数器6相连接,且粒子计数器6一侧设置有空气采样口7,粒子计数器6另一侧设置有流量计8,控制板1与粒子计数器6、流量计8、空气泵9、电磁阀10、组态电脑11、视频图像数据库14、摄像头17、指示灯18、温湿传感器12和空气泵20之间并联电性连接,粒子计数器6包括第一透镜组601、测量腔602、第二透镜组603、光检测器604和放大电路605,第一透镜组601一侧设置有测量腔602,且测量腔602一侧设置有第二透镜组603,第二透镜组603一侧设置有光检测器604,光检测器604一侧设置有放大电路605,能够快速对进行粒子计数,流量计8一侧设置有与其相连通的空气泵9,且空气泵9与流量计8之间设置有电磁阀10,485芯片2与粒子计数器6和流量计8相连接,无线网络收发器3设有数据采集与监控模块13,且数据采集与监控模块13包括视频图像数据库14、图片数据库15和警报数据库16,视频图像数据库14通过组态电脑11显现,摄像头17采集的数据储存在视频图像数据库14内,分析仪4上设置有指示灯18、温湿传感器12和空气泵9。

工作原理:在使用该无尘室微粒子污染微控制系统时,粒子计数器6将来自光源的光线被第一透镜组601聚焦于测量腔602内,当空气中的每一个粒子快速地通过测量腔602时,便把入射光散射一次,形成一个光脉冲信号,这一光信号经过第二透镜组603被送到光检测器604,正比地转换成电脉冲信号,再经过仪器进行放大电路605、甄别,拣出需要的信号,计数系统处理后通过组态电脑11显示出来,这就是该无尘室微粒子污染微控制系统的使用过程。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种无尘室微粒子污染微控制系统,包括控制板,所述控制板上分别设置有485芯片、无线网络收发器、分析仪和内存卡,所述分析仪上设置有指示灯、温湿传感器和空气泵。该无尘室微粒子污染微控制系统通过采用意法半导体和加速器,具有动态功耗调整功能,能够在运行模式下和从存储器执行时实现低电流消耗。

技术研发人员:仲海卫
受保护的技术使用者:苏州耀群净化科技有限公司
技术研发日:2018.12.21
技术公布日:2019.03.15
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