技术编号：17237526
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种防止管状桨划伤石英管内壁的装置。背景技术在太阳能电池片生产过程中，需要在表面镀膜，例如多晶硅、氮化硅等，需要使用LPCVD进行镀膜。为提高产能，将单管LPCVD的装载量由几百片提高到1200片，导致炉管的长度、工艺恒温区的长度以及工艺气体分布要求大大提升，特别是工艺恒温区的中、后区对片间均匀性技术要求大大提升。现有的管式LPCVD(石英管)中，需要使用两根管状桨托住载片舟，进行输送，由于长期处于高温环境，桨会有下弯，导致桨头端触碰到炉管壁，在出炉的时候容易造成炉管壁划伤，可能造...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。