石英管防划伤装置的制作方法

本实用新型涉及一种防止管状桨划伤石英管内壁的装置。

背景技术：

在太阳能电池片生产过程中，需要在表面镀膜，例如多晶硅、氮化硅等，需要使用LPCVD进行镀膜。为提高产能，将单管LPCVD的装载量由几百片提高到1200片，导致炉管的长度、工艺恒温区的长度以及工艺气体分布要求大大提升，特别是工艺恒温区的中、后区对片间均匀性技术要求大大提升。

现有的管式LPCVD(石英管)中，需要使用两根管状桨托住载片舟，进行输送，由于长期处于高温环境，桨会有下弯，导致桨头端触碰到炉管壁，在出炉的时候容易造成炉管壁划伤，可能造成炉管炸裂。目前缺少一种能有效保护LPCVD管炉内壁的装置。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便的石英管防划伤装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种石英管防划伤装置；

包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；

定位板分别与两个保护座固定连接。

采用这样的结构后，保护座与管状桨固定，管状桨在长期高温环境中，管状桨会有下弯，保护座代替管状桨与LPCVD管炉内壁接触，防止在取料的过程中，管状桨端部对炉管壁划伤；而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置，避免两个管状桨之间距离发生改变，影响载片舟的固定。

为了更清楚的理解本实用新型的技术内容，以下将本石英管防划伤装置简称为本防划伤装置。

本防划伤装置的保护座为石墨材质；采用这样的结构后，石墨材质不仅不会对炉管壁造成划伤，而且具有耐高温的优点，符合本防划伤装置的设计要求。

本防划伤装置的保护座包括插入部和防划伤部，插入部伸入管状桨内孔中，使保护座与管状桨之间相对固定，防划伤部处于管状桨外，防划伤部的外径大于管状桨的外径；采用这样的结构后，保护座的结构更为具体，更加满足本防划伤装置的需要。

本防划伤装置的定位板上开有两个通孔，两个通孔的位置与两个保护座位置对应，两个定位螺钉贯穿两个通孔且与保护座之间螺纹配合；采用这样的结构后，通过定位螺钉贯穿通孔的方式将保护座与定位板之间固定。

本防划伤装置的两个通孔的其中一个为腰形孔，腰形孔的长度方向与定位板的长度方向一致；采用这样的结构后，可以根据管状桨中心距调节两个保护座的间距。

附图说明

图1是本防划伤装置实施例的使用状态俯视图。

图2是图1的左视图。

图3是本防划伤装置实施例保护座的结构示意图。

具体实施方式

如图1至3所示

本防划伤装置包括定位板2、两个定位螺钉3和两个保护座1。

保护座1为石墨材质，两个保护座1与LPCVD管炉的两根管状桨4为一一对应关系，保护座1呈两段阶梯轴状，包括前部的插入部11和后部的防划伤部12，插入部11伸入管状桨4后端内孔中，使保护座1与管状桨4之间相对固定，防划伤部12处于管状桨4外，防划伤部12的外径大于管状桨4的外径，管状桨4前端固定在LPCVD管炉的炉口盖板5。

两个保护座1之间通过定位板2固定，定位板2为不锈钢材质，定位板2上开有两个通孔，两个通孔的位置与两个保护座1位置对应，两个通孔的其中一个为腰形孔21，腰形孔21的长度方向与定位板2的长度方向一致，两个定位螺钉3贯穿两个通孔且分别伸入保护座1后端面中心，两个定位螺钉3与保护座1之间螺纹配合。

以上所述的仅是本实用新型的一种实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本实用新型的保护范围。