石英管防划伤装置的制作方法

文档序号:17237526发布日期:2019-03-30 08:25阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型给出了一种石英管防划伤装置;包括定位板和两个保护座,所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;定位板分别与两个保护座固定连接。保护座与管状桨固定,管状桨在长期高温环境中,管状桨会有下弯,保护座代替管状桨与LPCVD管炉内壁接触,防止在取料的过程中,管状桨端部对炉管壁划伤;而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置,避免两个管状桨之间距离发生改变,影响载片舟的固定。

技术研发人员:葛怀庆;孙友巍;李晨;孙嵩泉
受保护的技术使用者:普乐新能源(蚌埠)有限公司
技术研发日:2018.08.20
技术公布日:2019.03.29

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