1.一种石英管防划伤装置,其特征为:
包括定位板和两个保护座,所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系,所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔,保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径;
定位板分别与两个保护座固定连接。
2.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置,其特征是:
所述的保护座为石墨材质。
3.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置,其特征是:
所述保护座包括插入部和防划伤部,插入部伸入管状桨内孔中,使保护座与管状桨之间相对固定,防划伤部处于管状桨外,防划伤部的外径大于管状桨的外径。
4.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置,其特征是:
定位板上开有两个通孔,两个通孔的位置与两个保护座位置对应,两个定位螺钉贯穿两个通孔且与保护座之间螺纹配合。
5.根据权利要求4所述的石英管防划伤装置,其特征是:
两个通孔的其中一个为腰形孔,腰形孔的长度方向与定位板的长度方向一致。