技术编号:17270857
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子技术领域,特别涉及一种真空镀膜机下腔室运输系统。背景技术真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空镀膜机发生故障时,一般使用运输小车从真空镀膜机下腔室底部将下腔室运输到维修室。但是,现有技术中,运输小车在将下腔室运走之前,真空镀膜机是否停机、真空环境是否破除、连接上腔室和下腔室的电缆是否断开等问题,只能靠人为判断,若判断错误,运输小车将下腔室运走时可能会发生安全隐患,例如电线拉断,设备损坏,人员伤亡等。实用新型内容本实用新型实施例提供一种真空镀膜机下腔室运输...
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