一种真空镀膜机下腔室运输系统的制作方法

本实用新型涉及电子技术领域，特别涉及一种真空镀膜机下腔室运输系统。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空镀膜机发生故障时，一般使用运输小车从真空镀膜机下腔室底部将下腔室运输到维修室。但是，现有技术中，运输小车在将下腔室运走之前，真空镀膜机是否停机、真空环境是否破除、连接上腔室和下腔室的电缆是否断开等问题，只能靠人为判断，若判断错误，运输小车将下腔室运走时可能会发生安全隐患，例如电线拉断，设备损坏，人员伤亡等。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供一种真空镀膜机下腔室运输系统，用以在运输小车在将真空镀膜机下腔室运走之前，排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

本实用新型实施例提供一种真空镀膜机下腔室运输系统，包括：设置在真空镀膜机上的第一控制器、设置在运输小车上并用于控制运输小车移动的第二控制器以及用于为所述第二控制器供电的供电电路；所述运输小车用于运输所述真空镀膜机的下腔室；

所述供电电路包括第一开关；

所述第一控制器根据接收到的预设信号控制所述第一开关闭合，导通所述供电电路。

在上述方案中，第一控制器在接收到预设信号时，控制第一开关闭合，以使供电电路导通，第二控制器得电后运输小车移动，这样，可以有效保证运输小车在将真空镀膜机的下腔室运走前已排除安全隐患，有效保障设备和人员的安全。

在上述方案中，所述预设信号为所述真空镀膜机停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开的信号。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述第一开关为设置在所述真空镀膜机上的继电器；其中，所述继电器的线圈与所述第一控制器连接，所述继电器的常开触点串接在所述供电电路中；所述第一控制器根据接收到的所述预设信号控制所述继电器的线圈得电，闭合所述继电器的常开触点，导通所述供电电路。

在本实施方式中，第一控制器通过控制继电器的线圈得电实现供电电路的导通，在有效保障设备和人员的安全的前提下，还具有电路结构简单，实现成本低的效果。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述供电电路还包括：与所述第一开关串联的第二开关，所述第二开关设置在所述运输小车上，所述运输小车位于所述真空镀膜机的下腔室下方并顶起所述下腔室时，触发所述第二开关闭合。

在本实施方式中，只有第一开关和第二开关同时闭合，第二控制器才会得电，进而控制运输小车移动。这样，运输小车在将下腔室运走之前，确保运输小车正确承载到真空镀膜机的下腔室，避免下腔室意外摔落损坏等问题，进而更好地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述供电电路还包括：与所述第一开关串联的第三开关，所述第三开关通过触点组件控制所述供电电路的通断。

在本实施方式中，只有第一开关和第三开关同时闭合，第二控制器才会得电，进而控制运输小车移动。其中，第三开关可以是人为确认运输环境中无障碍物阻挡时控制闭合，这样，运输小车在将下腔室运走之前，确保运输环境中无障碍物阻挡，进一步地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述供电电路还包括：第三开关，所述第一开关、第二开关和第三开关串联，所述第三开关通过触点组件控制所述供电电路的通断。

在本实施方式中，只有第一开关、第二开关和第三开关同时闭合，第二控制器才会得电，进而控制运输小车移动。其中，第三开关可以是人为确认运输环境中无障碍物阻挡时控制闭合，这样，运输小车在将下腔室运走之前，确保运输小车正确承载到真空镀膜机的下腔室，运输环境中无障碍物阻挡，进一步地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述第三开关具体为三位按钮开关；当所述第三开关上的按钮处于第一位置和第三位置时，所述第三开关断开；当所述按钮处于第二位置时，所述第三开关闭合。

通过本实施方式，可以有效避免第三开关由于操作员误触碰导致闭合的问题，进一步提高了真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，更好地保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，还包括：设置在所述真空镀膜机内的真空传感器，用于检测所述真空镀膜机内的真空度信号并发送至所述第一控制器。

通过本实施方式，第一控制器通过真空传感器发送的真空度信号确定真空镀膜机真空环境是否破除，提高了真空检测效率，进而更好地保证真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，还包括：电流检测电路，用于检测连接所述真空镀膜机的上腔室和下腔室的电缆中的电流信号并发送至所述第一控制器。

通过本实施方式，第一控制器通过判断是否收到电流信号来确定连接上腔室和下腔室的电缆是否断开，提高了检测效率，进而更好地保证真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述供电电路包括设置在所述真空镀膜机上的第一部分电路，以及设置在所述运输小车上的第二部分电路；其中，所述第一部分电路与所述第二部分电路之间通过可插拔的电缆插头连接。

通过本实施方式，可以使得运输小车在需要运输真空镀膜机的下腔室时，通过可插拔的电缆与其连接，在完成运输任务之后，通过可插拔的电缆插头与真空镀膜机断开，此时运输小车可供其他真空镀膜机使用，可有效提高真空镀膜机的检修效率，节约生产成本。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述第一控制器和所述第二控制器中的至少一个控制器包括逻辑器件，或者所述第一控制器和所述第二控制器中的至少一个控制器为PLC。

本实施方式，通过逻辑器件或者可编程逻辑控制器实现对运输小车的移动控制，提高了真空镀膜机下腔室运输系统的可靠性，可更好地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

本实用新型有益效果如下：

第一控制器接收到预设信号，如真空镀膜机停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开的信号时，控制第一开关闭合，以使供电电路导通，第二控制器得电后运输小车移动，这样，可以有效保证运输小车在将真空镀膜机的下腔室运走前，已排除安全隐患，有效保障设备和人员的安全。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。附图中各部件的形状和大小不反应真实比例，目的只是示意说明本实用新型内容。

图1为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的一种可能的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中运输小车和真空镀膜机的位置关系示意图；

图5为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图；

图6为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图；

图7为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图；

图8为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图；

图9为本实用新型实施例中真空镀膜机下腔室运输系统的另一种可能的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图，对本实用新型实施例提供的运输系统的具体实施方式进行详细地说明。应当理解，下面所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。并且在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要理解的是，在本实用新型实施例的描述中，“第一”、“第二”等词汇，仅用于区分描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，也不能理解为指示或暗示顺序。在本实用新型实施例的描述中“多个”，是指两个或两个以上。

本实用新型实施例中的术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

参照图1，本实用新型实施例提供的真空镀膜机下腔室运输系统包括设置在真空镀膜机01上的第一控制器A1、设置在运输小车02上并用于控制运输小车移动的第二控制器A2以及用于为第二控制器A2供电的供电电路03；

其中，供电电路03包括第一开关K1；第一控制器A1根据接收到的真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开的信号控制第一开关K1闭合，导通供电电路03，以使第二控制器A2得电后控制运输小车02移动，由运输小车将真空镀膜机01的下腔室运输到维修室。

在上述方案中，第一控制器A1在接收到真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开的信号时，控制第一开关K1闭合，以使供电电路03导通，第二控制器A2得电后运输小车移动，这样，可以有效保证运输小车02在将真空镀膜机01的下腔室运走前，真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开，有效排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，第一开关K1具体为设置在真空镀膜机01上的继电器。

参照图2，继电器的线圈K1a与第一控制器A1连接，继电器的常开触点K1b串接在供电电路03中；

当第一控制器A1根据真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开的信号控制继电器的线圈K1a得电，线圈K1a吸合，使得继电器的常开触点K1b闭合，进而使得供电电路03导通。

在本实施方式中，第一控制器A1通过控制继电器的线圈K1a得电实现供电电路03的导通，在有效保障设备和人员的安全的前提下，还具有电路结构简单，实现成本低的效果。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，参照图3，供电电路03还包括：与第一开关K1串联的第二开关K2，第二开关K2设置在运输小车02上，运输小车02位于真空镀膜机01的下腔室下方并顶起下腔室时，触发第二开关K2闭合。

图4为运输小车02和真空镀膜机01的位置关系示意图，图4中11表示真空镀膜机01的上腔室，12表示真空镀膜机01的下腔室，13表示真空镀膜机的支撑腿，支撑腿13与上腔室11固定。小车02顶部设置有一个顶杆21，当小车02移动到下腔室12下方时，顶杆21可朝上延伸，当顶杆21顶起下腔室12时，触发小车02上的第二开关K2闭合。

在本实施方式中，只有第一开关K1和第二开关K2同时闭合，第二控制器A2才会得电，进而控制运输小车02移动。这样，运输小车02在将下腔室运走之前，除了保证真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开之外，还确保运输小车02正确承载到真空镀膜机01的下腔室，避免下腔室意外摔落损坏等问题，进而更好地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，供电电路03还包括：与第一开关K1串联的第三开关K3，所述第三开关K3通过触点组件控制所述供电电路的通断。

在具体实施过程中，第三开关K3的断开和闭合可以人为控制。比如，第三开关K3的触点组件包括人为操控的按钮，操作员在确认运输小车02运输环境中没有障碍物时按下第三开关K3的按钮，可使得第三开关K3闭合，如果此时供电电路上的其它开关此时都是闭合状态，那么供电电路03导通，运输小车02开始移动；如果运输环境中有障碍物阻挡运输小车02的前行路径，则可以松开第三开关K3的按钮，使得第三开关K3断开，此时不管第一开关是否闭合，供电电路03都不导通，运输小车02都不可移动。

在具体实施过程中，第三开关K3可以单独和第一开关K1结合实施，也可以和第一开关K1、第二开关K2一起结合实施，本实用新型实施例不做具体限制。下面，分别对这两种情况进行详细介绍：

第1种：

参照图5和图6，供电电路03上的开关包括第一开关K1和第三开关K3，第一开关K1和第三开关K3串联设置，其中图5所示的第三开关K3设置在真空镀膜机01上，图6所示的第三开关K3独立设置在真空镀膜机01和运输小车02外部，在具体实施过程中，第三开关K3的具体位置还可以有其它实现方式，本实用新型实施例不做具体限制，只要保证第三开关K3在供电电路03中即可。

在本实施方式中，只有第一开关K1和第三开关K3同时闭合，第二控制器A2才会得电，进而控制运输小车02移动。其中，第三开关K3是人为确认运输环境中无障碍物阻挡时控制闭合，这样，运输小车02在将下腔室运走之前，除了保证真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开之外，还确保运输环境中无障碍物阻挡，进一步地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

第2种：

参照图7和图8，供电电路03上的开关包括第一开关K1和第二开关K2以及第三开关K3，第一开关K1和第二开关K2以及第三开关K3串联设置，其中图7所示的第三开关K3设置在真空镀膜机01上，图8所示的第三开关K3独立设置在真空镀膜机01和运输小车02外部，在具体实施过程中，第三开关K3的具体位置还可以有其它实现方式，比如设置在小车02上，本实用新型实施例不做具体限制，只要保证第三开关K3在供电电路03中即可。

在本实施方式中，只有第一开关K1、第二开关K2和第二开关K3同时闭合，第二控制器A2才会得电，进而控制运输小车02移动。其中，第三开关是人为确认运输环境中无障碍物阻挡时控制闭合，这样，运输小车02在将下腔室运走之前，除了保证真空镀膜机01停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开之外，还确保运输小车02正确承载到真空镀膜机01的下腔室，运输环境中无障碍物阻挡，进一步地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，第三开关K3具体为三位按钮开关；

当摁触第三开关K3上的按钮的力度小于第一预设值时，按钮处于第一位置；当摁触按钮的力度处于第一预设值和第二预设值之间时，按钮处于第二位置；当摁触按钮的力度大于第二预设值时，按钮处于第三位置；当按钮处于第一位置和第三位置时，第三开关断开，当按钮处于第二位置时，第三开关闭合。

通过本实施方式，可以有效避免第三开关K3由于操作员误触碰导致闭合的问题，进一步提高了真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，更好地保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，本实用新型实施例提供的上述系统还包括：

设置在真空镀膜机内01的真空传感器，用于检测真空镀膜机01内的真空度信号并发送至第一控制器A1。第一控制器A1在收到真空度信号之后，根据该真空度信号确定真空镀膜机01真空环境是否被破除。

通过本实施方式，第一控制器A1通过真空传感器发送的真空度信号确定真空镀膜机01真空环境是否破除，提高了真空检测效率，进而更好地保证真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，本实用新型实施例提供的上述系统还包括：

电流检测电路，用于检测连接真空镀膜机01的上腔室和下腔室的电缆中的电流信号并发送至第一控制器A1。第一控制器A1通过判断是否收到电流信号来确定连接上腔室和下腔室的电缆是否断开。比如，第一控制器A1在超过预设时长未收到任何电流信号，则确定连接上腔室和下腔室的电缆断开。

通过本实施方式，第一控制器A1通过判断是否收到电流信号来确定连接上腔室和下腔室的电缆断开，提高了检测效率，进而更好地保证真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，第一控制器A1确定真空镀膜机01停机的实施方式可以是硬件方式，也可以是软件方式，本实用新型不做具体限制。例如，第一控制器A1在确定自身嵌入的控制真空镀膜机01工作的程序停止运行时确定真空镀膜机01停机，又例如，第一控制器A1在确定自身的预设的端口接收到预设信号时，确定真空镀膜机01停机。

通过本实施方式，提高了真空镀膜机01的停机检测效率，进而更好地保证真空镀膜机下腔室运输系统安全性能，保障设备和人员的安全。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，参照图9，供电电路03包括设置在真空镀膜机01上的第一部分电路31，以及设置在运输小车02上的第二部分电路32；

其中，第一部分电路31与第二部分电路32之间通过可插拔的电缆插头连接40。

通过本实施方式，可以使得运输小车02在需要运输真空镀膜机01的下腔室时，通过可插拔的电缆与其连接，在完成运输任务之后，通过可插拔的电缆插头与真空镀膜机断开，此时小车02可供其他真空镀膜机使用，可有效提高真空镀膜机01的检修效率，节约生产成本。

在一种可能的实现方式中，在本实用新型实施例提供的上述系统中，所述第一控制器A1和所述第二控制器A2中的至少一个控制器包括逻辑器件，或者所述第一控制器和所述第二控制器中的至少一个控制器为可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)，本实用新型实施例不做具体限制。

通过本实施方式，通过逻辑器件或者可编程逻辑控制器实现对运输小车02的移动控制，提高了真空镀膜机下腔室运输系统的可靠性，可更好地排除安全隐患，保障设备和人员的安全。

应当说明的是，对于上述真空镀膜机下腔室运输系统的其它必不可少的组成部分均为本领域的普通技术人员应该理解具有的，在此不做赘述，也不应作为对本实用新型的限制。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。