一种真空镀膜机下腔室运输系统的制作方法

文档序号:17270857发布日期:2019-04-02 23:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,包括:设置在真空镀膜机上的第一控制器、设置在运输小车上并用于控制运输小车移动的第二控制器以及用于为所述第二控制器供电的供电电路;所述运输小车用于运输所述真空镀膜机的下腔室;

所述供电电路包括第一开关;

所述第一控制器根据接收到的预设信号控制所述第一开关闭合,导通所述供电电路。

2.如权利要求1所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述第一开关为设置在所述真空镀膜机上的继电器;

其中,所述继电器的线圈与所述第一控制器连接,所述继电器的常开触点串接在所述供电电路中;

所述第一控制器根据接收到的所述预设信号控制所述继电器的线圈得电,闭合所述继电器的常开触点,导通所述供电电路。

3.如权利要求1所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述供电电路还包括:

与所述第一开关串联的第二开关,所述第二开关设置在所述运输小车上,所述运输小车位于所述真空镀膜机的下腔室下方并顶起所述下腔室时触发所述第二开关闭合。

4.如权利要求1所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述供电电路还包括:

与所述第一开关串联的第三开关,所述第三开关通过触点组件控制所述供电电路的通断。

5.如权利要求3所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述供电电路还包括:

第三开关,所述第一开关、第二开关和第三开关串联,所述第三开关通过触点组件控制所述供电电路的通断。

6.如权利要求5所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述第三开关具体为三位按钮开关;

当所述第三开关上的按钮处于第一位置和第三位置时,所述第三开关断开;当所述按钮处于第二位置时,所述第三开关闭合。

7.如权利要求1-6任一项所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述预设信号为所述真空镀膜机停机、真空环境破除和/或连接上腔室和下腔室的电缆断开的信号。

8.如权利要求7所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,还包括:

设置在所述真空镀膜机内的真空传感器,用于检测所述真空镀膜机内的真空度信号并发送至所述第一控制器。

9.如权利要求7所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,还包括:

电流检测电路,用于检测连接所述真空镀膜机的上腔室和下腔室的电缆中的电流信号并发送至所述第一控制器。

10.如权利要求7所述的真空镀膜机下腔室运输系统,其特征在于,所述供电电路包括设置在所述真空镀膜机上的第一部分电路,以及设置在所述运输小车上的第二部分电路;

其中,所述第一部分电路与所述第二部分电路之间通过可插拔的电缆插头连接。

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