专利名称：卧式真空镀膜机自动装、卸片机构的制作方法
技术领域：
本发明是一种卧式真空镀膜机自动装、卸片机构。
背景技术：
真空镀膜工艺过程中，基片清洗后，采用基片架承载，运送至真空镀膜箱中镀膜， 镀膜结束后，基片也需要从基片架上卸片。业内传统的方法是由人工进行上、卸片，不仅操 作人员劳动强度大，生产效率低下，而且无法避免手工操作对玻璃基片的污染甚至损坏，影 响基片镀膜后膜层质量。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、运行可靠、自动化 程度高、自动精确装载及卸载基片的卧式真空镀膜机自动装、卸片机构。本发明卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二 基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一 基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述 第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送 机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送 机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方。本发明的进一步改进是在所述机架内设有导向光杆和丝杆，所述导向光杆和丝杆 垂直于所述机架底面且相互平行；在所述机架上设有驱动所述丝杆正反转的电机；所述第 二基片架传送机构上设有螺孔及通孔，所述螺孔旋装在所述丝杆上、所述通孔套装在所述 导向光杆上；所述第二基片传送机构上也设有通孔，分别套装在所述丝杆及导向光杆上并 处于所述第二基片架传送机构下方；所述第一基片架传送机构上方平行设置有第三基片架 传送机构，所述第一基片架传送机构、第三基片架传送机构沿所述机架高度方向有一定间 距。本发明中，所述第二基片传送机构上设有多个摩擦传动轮，所述摩擦传动轮的安 装尺寸处于所述第二基片架传送机构中心设置的矩形通孔正投影范围内。本发明中，所述第二基片传送机构与所述第二基片架传送机构上分别设置有驱动 电机。本发明的工作原理及优点简述于下参见附图3、4当经过清洗的玻璃需要安装在基片架上时，本发明首先对汽缸充气 6，活塞伸出汽缸，使第二基片传送机构5下降至第二基片架传送机构3下方；同时，启动第 二基片架传送机构5上设置的驱动电机12 ；然后，第一基片架传送机构2将基片架14送至 第二基片架传送机构3上定位后，第二基片架传送机构3上的驱动电机12停止转动；此时， 气缸放气6，活塞收入汽缸中，带动第二基片传送机构5上行，使第二基片传送机构5上设 置的摩擦传动轮11处于第二基片架传送机构3上方，同时，启动第二基片传送机构5上设置的驱动电机13，使第二基片传送机构5设置的摩擦轮11转动；然后，第一基片传送机构 4将基片15送至第二基片传送机构5上设置的摩擦传动轮11定位后，第二基片传送机构5 上设置的驱动电机13停止转动；然后，使汽缸6充气，活塞伸出汽缸，使第二基片传送机构 5下降至第二基片架传送机构3下方，从而，使承载在第二基片传送机构5上的基片15自动 落入第二基片架传送机构3上的基片架14上，实现自动精确装载玻璃基片；然后，驱动第二 基片架传送机构3的电机12将装载有玻璃基片的基片架送至第一基片架传送机构2，实现 远距离的平稳输送。反之，当基片架上已经装载有玻璃基片，需要将玻璃基片从基片架上卸 下时，类同于上述步骤操作，即可实现玻璃基片从基片架上卸下的目的。本发明为满足卧式真空镀膜机生产线的需求，还设置了丝杆，利用丝杆正、反转带 动与所述丝杆螺接的第二基片架传送机构沿丝杆轴向升降，同时，带动第二基片传送机构 也同时沿丝杆轴向升降，以实现玻璃基片及基片架的垂直升降及不同高度位置的玻璃基片 的自动装卸片。综上所述，本发明结构简单、运行可靠、自动化程度高、可自动精确装载及卸载基 片；可实现工业化生产，适于与各种型号的卧式真空镀膜机配套使用，形成自动镀膜生产 线。
附图1为本发明主视图。附图2为附图1的A-A剖视图。附图3为本发明中第二基片传送机构接收基片状态示意图。附图4为本发明中基片落入第二基片架传送机构上的基片架中的状态示意图。图中1_机架、2-第一基片架传送机构、3-第二基片架传送机构、4-第一基片传送 机构、5-第二基片传送机构、6-汽缸活塞、7-导向光杆、8-丝杆、9-电机、10-第三基片架传 送机构、11-摩擦传动轮、12、13-驱动电机。
具体实施例方式下面结合具体实施例，对本发明进行详细说明。参见附图1、2，本发明卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架1、第一基片架 传送机构2、第二基片架传送机构3、第一基片传送机构4、第二基片传送机构5，在所述机架 1的一端设有所述第一基片传送机构4，在所述机架1另一端设有所述第一基片架传送机构 2 ；在所述机架1内设有所述第二基片架传送机构3 ；所述第二基片架传送机构3中心设有 矩形通孔；所述第一基片架传送机构2、第二基片架传送机构3、第一基片传送机构4在高度 方向位置相匹配；所述第二基片传送机构5通过汽缸活塞6与所述第二基片架传送机构3 固连并处于所述第二基片架传送机构3下方；所述机架1内设有导向光杆7和丝杆8，所述 导向光杆7和丝杆8垂直于所述机架1底面且相互平行；在所述机架1上设有驱动所述丝 杆8正反转的电机9 ；所述第二基片架传送机构3上设有螺孔及通孔，所述螺孔旋装在所述 丝杆8上、所述通孔套装在所述导向光杆7上；所述第二基片传送机构5上也设有通孔，分 别套装在所述丝杆8及导向光杆7上并处于所述第二基片架传送机构3下方；所述第一基 片架传送机构2上方平行设置有第三基片架传送机构10，所述第一基片架传送机构2、第三
4基片架传送机构10沿所述机架1高度方向有一定间距；所述第二基片传送机构5上设有多 个摩擦传动轮11，所述摩擦传动轮11的安装尺寸处于所述第二基片架传送机构3中心设置 的矩形通孔正投影范围内；所述第二基片传送机构5与所述第二基片架传送机构3上分别 设置有驱动电机12、13。
权利要求
卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，其特征在于在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方。
2.根据权利要求1所述的卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，其特征在于在所述机架 内设有导向光杆和丝杆，所述导向光杆和丝杆垂直于所述机架底面且相互平行；在所述机 架上设有驱动所述丝杆正反转的电机；所述第二基片架传送机构上设有螺孔及通孔，所述 螺孔旋装在所述丝杆上、所述通孔套装在所述导向光杆上；所述第二基片传送机构上也设 有通孔，分别套装在所述丝杆及导向光杆上并处于所述第二基片架传送机构下方；所述第 一基片架传送机构上方平行设置有第三基片架传送机构，所述第一基片架传送机构、第三 基片架传送机构沿所述机架高度方向有一定间距。
3.根据权利要求1或2所述的卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，其特征在于所述第 二基片传送机构上设有多个摩擦传动轮，所述摩擦传动轮的安装尺寸处于所述第二基片架 传送机构中心设置的矩形通孔正投影范围内。
4.根据权利要求3所述的卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，其特征在于本发明中， 所述第二基片传送机构与所述第二基片架传送机构上分别设置有驱动电机。
全文摘要
卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方。本发明结构简单、运行可靠、自动化程度高、可自动精确装载及卸载基片；可实现工业化生产，适于与各种型号的卧式真空镀膜机配套使用。
文档编号C23C14/56GK101838798SQ20101019493
公开日2010年9月22日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日
发明者孙桂红, 祝海生, 郭爱云, 黄乐, 黄国兴 申请人:湘潭宏大真空设备有限公司