专利名称：一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构的制作方法
技术领域：
本实用新型公开了一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，属于真空镀膜机械技术 领域。
背景技术：
卧式真空镀膜机非靶门主要用于生产线例行检修时打开真空箱体。传统的卧式真 空镀膜机在检修时，通常是用起重行车吊开真空箱体的盖板门(非靶门或检修门)，由于真 空镀膜机是在洁净空间内运行，起重设备的运行不可避免的会产生落灰，导致真空镀膜机 运行可靠性及镀膜质量的下降。同时，吊装过程只能手动操作，很繁琐，还存在有安全隐患。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、加工制造容 易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染的卧式真空镀膜机非靶门翻转机构。本实用新型是采用下述方案实现的一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，包括 真空镀膜机箱体、非靶门、连杆、油缸，所述连杆通过第一铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体 一侧，所述非靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述油缸的一端通过第三铰轴 铰装在所述真空镀膜机箱体上，另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第 二铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构，所述第一铰轴、第三铰轴、第四铰轴的 轴心连线构成一个三连杆机构。本实用新型的工作原理及优点简述于下当真空箱体检修需开启非靶门时，先驱动液压油缸动作，在液压油缸的驱动下，连 杆带动靶门一起绕第一铰轴旋转，当液压油缸的活塞收缩到位后，停止工作，此时靶门旋转 大于90度，见附图2。本实用新型由于采用上述结构，利用液压油缸驱动耙门绕铰接轴转动，实现非耙 门自动开启90度，克服了现有技术非耙门开启程序烦琐、劳动强度大、污染真空镀膜环境 的弊端，操作过程自动化程度高，外观整洁。综上所述，本实用新型结构简单、加工制造容易、操作方便、不会造成真空镀膜环 境污染，可实现工业化生产，适于与各种、型号的真空镀膜箱配套使用。
附图1为本实用新型结构示意图。附图2为本实用新型使用状态示意图。图中1_靶门、2-真空镀膜机箱体、3-油缸、7-连杆。具体事实方式本实用新型的具体结构，下面结合具体实施例及附图详细说明。参见附图1、2，本实用新型一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，包括非靶门1、真空镀膜机箱体2、油缸3、连杆7，所述连杆7通过第一铰轴5铰装在所述真空镀膜机箱体 2 一侧，所述非靶门1的一侧通过第二铰轴6铰装在所述连杆7上；所述油缸3的一端通过 第三铰轴8铰装在所述真空镀膜机 箱体2上，另一端通过第四铰轴4铰装在所述连杆7上； 所述第一铰轴5、第二铰轴6、第四铰轴4的轴心连线构成一个三连杆机构，所述第一铰轴5、 第三铰轴8、第四铰轴4的轴心连线构成一个三连杆机构。
权利要求一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、非靶门、连杆、油缸，其特征在于所述连杆通过第一铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体一侧，所述非靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述油缸的一端通过第三铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第二铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构，所述第一铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构。
专利摘要一种卧式真空镀膜机非靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、非靶门、连杆、油缸，所述连杆通过第一铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体一侧，所述非靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述油缸的一端通过第三铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第二铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构，所述第一铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构。本实用新型结构简单、加工制造容易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染，可实现工业化生产，适于与各种、型号的真空镀膜箱配套使用。
文档编号C23C16/00GK201695078SQ20102021891
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日
发明者孙桂红, 祝海生, 郭爱云, 黄乐, 黄国兴 申请人:湘潭宏大真空设备有限公司