一种真空镀膜机下腔室运输系统的制作方法

文档序号:17270857发布日期:2019-04-02 23:49阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种真空镀膜机下腔室运输系统,用以在运输小车在将真空镀膜机下腔室运走之前,排除安全隐患,保障设备和人员的安全。所述系统包括:设置在真空镀膜机上的第一控制器、设置在运输小车上并用于控制运输小车移动的第二控制器以及用于为所述第二控制器供电的供电电路;所述运输小车用于在所述真空镀膜机需要维修时将所述真空镀膜机的下腔室运输至维修室;所述供电电路包括第一开关;所述第一控制器根据接收到的预设信号控制所述第一开关闭合,导通所述供电电路。

技术研发人员:张平
受保护的技术使用者:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
技术研发日:2018.08.09
技术公布日:2019.04.02

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